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池田屋现货!!富士金FUJIKIN 数控阀 FPR-PSD-21-6.35UGC#B

2025-07-14 17:26:15 admin

池田屋现货!!富士金FUJIKIN 数控阀 FPR-PSD-21-6.35UGC#B

池田屋现货!!富士金FUJIKIN 数控阀 FPR-PSD-21-6.35UGC#B


富士金(FUJIKIN)是日本的高精度流体控制设备制造商,其产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能数字控制阀(数控阀),专为高精度气体流量控制设计,适用于严苛的工业环境。


1. 主要特点

高精度控制:流量控制精度可达 ±1% FS(满量程),适用于微流量调节。

快速响应:开关时间 毫秒级(通常20-50ms),适合高速工艺需求。
耐腐蚀材料:阀体通常采用不锈钢(SUS316L),密封材料可选氟橡胶(FKM)、EPDM等,适用于腐蚀性气体(如HCl、Cl₂、NH₃等)。
数字信号控制:支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信协议(具体取决于配置),或模拟信号(4-20mA/0-5V)输入。
紧凑设计:体积小,适合高密度安装,节省设备空间。
高可靠性:适用于7×24小时连续运行,寿命长,维护需求低。



  • 半导体制造:用于CVD(化学气相沉积)、蚀刻、离子注入等工艺的气体流量控制。

  • 光伏行业:在薄膜太阳能电池制造中控制SiH₄、NH₃、NF₃等特种气体。

  • 实验室设备:如气相色谱(GC)、质谱仪(MS)等需要高精度流量控制的场景。


3. 技术参数(示例,具体以数据为准)

项目参数
型号FPR-PSD-21-6.35UGC#B
接口尺寸6.35mm(1/4英寸)
阀体材质SUS316L(标准)
密封材料氟橡胶(FKM)或其他可选
工作压力0.1~0.7 MPa(可定制更高压力)
流量范围0~50 SLM(标准氮气,可定制)
控制信号数字(RS-485/EtherCAT)或模拟(4-20mA/0-5V)
响应时间≤50ms(全开→全关)
重复精度±1% FS
环境温度0~50°C(可定制高温/低温版本)
认证CE、SEMI(部分型号符合半导体行业标准)


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