MEMS热式气流传感器是什么？MMS501在工业气体流量监测中的应用

MEMS热式气流传感器是什么？MMS501在工业气体流量监测中的应用

气体流量监测是工业自动化设备的重要检测环节。在半导体制造配套设备、气体输送系统及通风控制设备中，流量数据可以为系统运行和过程控制提供参考。

随着MEMS技术的发展，MEMS热式气流传感器逐渐应用于小型化气体流量检测设备。

一、MEMS热式气流传感器的特点

热式气流传感器利用气流带走热量所产生的变化来检测气体流动情况，再将检测结果转换为相应的电信号。

其特点包括：

• 适合气流状态检测

• 可用于电子化流量采集

• 有利于设备小型化设计

• 可配合主控系统进行数据处理

二、美蓓亚三美MMS501产品介绍

MMS501是一款MEMS热流式气流传感器。

主要参数：

• 产品类型：MEMS热式气流传感器

• 流量范围：±250L/min

• 通信接口：I²C

• 工作温度：-20～+80℃

该型号可作为工业气体流量监测、小型气流检测及自动化设备流量采集方案的选型参考。

三、气流传感器适用方向

• 工业设备气体流量监测

• 通风及气流控制系统

• 自动化设备气路检测

• 小型化气体流量测量模块

选型时需要明确被测气体种类、流量范围、压力条件、接口协议以及安装结构。尤其需要确认传感器的适用介质，不能直接将不同气体工况视为完全通用。

产品咨询：池田屋贸易 周小姐

联系电话：175O3O77O78

欢迎咨询MMS501及其他气流传感器产品。