池田屋！！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
池田屋！！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N池田屋！！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100NEV-X型结构紧凑、节能，单个装置可覆盖多种工艺适用于中等负荷工艺高温控制节能采用耐腐蚀材料作为标准提高耐腐蚀性的选择不同频率下性能相同（50Hz/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求占地面积小该款中负荷工序用干式真空泵搭载了荏原独特的节
池田屋！！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
池田屋！！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
EV-X型
结构紧凑、节能，单个装置可覆盖多种工艺
适用于中等负荷工艺
高温控制
节能
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
不同频率下性能相同（50Hz/60Hz）
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面积小
该款中负荷工序用干式真空泵搭载了荏原独特的节能技术，并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计，实现了进一步的小型化和节能化。
宽范围的温度控制扩大了适用工艺。
宽范围的温度控制扩大了适用工艺。
由于同一型号可覆盖多个工艺，因此可优化备用设备库存，减少维护和培训工作，并可灵活适应未来的工艺扩展。
此外，通过对各工序进行最佳温度控制，可提高工序耐性，并可延长零件的更换周期，有助于降低TCoO。
支持的应用示例：各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等。
支持的应用示例：各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等。