EBARA荏原 高抽速、大流量无油真空泵 EST型 EST300WN
EBARA荏原 高抽速、大流量无油真空泵 EST型 EST300WNEBARA荏原 高抽速、大流量无油真空泵 EST型 EST300WNEST 类型干式真空泵可抽取大量气体，适用于反应副产物高温控制高抽速高流量排气采用耐腐蚀材料作为标准提高耐腐蚀性的选择高负荷工艺支持不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求产品介绍EST型采用螺杆转子，并配备高温功能
EBARA荏原 高抽速、大流量无油真空泵 EST型 EST300WN
EBARA荏原 高抽速、大流量无油真空泵 EST型 EST300WN
EST 类型
干式真空泵可抽取大量气体，适用于反应副产物
高温控制
高抽速
高流量排气
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
高负荷工艺支持
不同频率下性能相同（50/60Hz）
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
产品介绍
EST型采用螺杆转子，并配备高温功能，可使泵内的气体保持高温，非常适合CVD等产生反应副产物的应用。
标准采用耐腐蚀材料，实现高抽速和大流量，减少停机时间并提高工艺效率。
规格
| 模型 | 单元 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 抽气速度 | 升/分钟 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5万 | 8万 | |
| 极限压力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 连接尺寸 | 进气 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力下的近似功率值 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷却水 | 流动 | 升/分钟 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | ℃ | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | |
| 氮气 | 流动 | 帕•立方米/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 供电容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似质量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |