ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-10D
ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-10DULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-10D“型号：CCMT-D”、陶瓷气压根据气体的压力变化发生变形、电容真空式计根据静电容量的变化检测压力。传感器部由陶瓷一体构造，具有优秀的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气压的种类影响（可以测量绝对压力），能够进行地测量。特点长期稳定使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性内置式温度补偿回路采
ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-10D
ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-10D
“型号：CCMT-D”、陶瓷气压根据气体的压力变化发生变形、电容真空式计根据静电容量的变化检测压力。
传感器部由陶瓷一体构造，具有优秀的再现性、稳定性，在低·中真空领域不受气压的种类影响（可以测量绝对压力），能够进行地测量。
特点
长期稳定
使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性
内置式温度补偿回路
采用新结构保护传感器结构
可以通过按钮进行零点调整
用途
用于成膜设备工艺中的压力监控
用于真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监控
规格
模型 | CCMT-D | ||
满量程 | CCMT-1000D | 133千帕（1×10 3托，1.33×10 3毫巴）满量程 | |
CCMT-100D | 13.3千帕（1×10 2托，1.33×10 2毫巴）满量程 | ||
CCMT-10D | 1.33千帕（10托，13.3毫巴）满量程 | ||
CCMT-1D | 133Pa（1 托，1.33 毫巴）满量程 | ||
解决 | 满量程的 0.003% | ||
准确度*1 | ±0.2％±温度系数相对于显示值（该值表示精度零点调整） | ||
温度系数 | 零电压 | 0.015 %满量程/℃ | |
跨度电压 | 0.01% 电阻/℃ | ||
工作温度范围 | 10 至 50℃（50 至 122 °F） | ||
响应率 | 30毫秒或更短 | ||
气体接触段材质 | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3、玻璃陶瓷焊料、Ag Ti Cu硬焊料 | ||
输入功率 | DC14～30V，1W | ||
输出 | DC 0 至 10V 满量程 | ||
重量 | 329克 | ||
方面 | 55毫米×117毫米 | ||
温度补偿 | 内部温度补偿电路 | ||
电连接器 | D-sub 15针公头（No.4-40，DNC螺丝） | ||
*1 ：非线性、滞后、重复性在 25℃ (77℉) 环境工作温度下无温度影响，运行 2 小时后，调零后
*2 ：28% Ni、23% Co、49% Fe
*3 ：18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe