ULVAC爱发科

进口!!ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-1D

进口!!ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-1D进口!!ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-1D“型号:CCMT-D”、陶瓷气压根据气体的压力变化发生变形、电容真空式计根据静电容量的变化检测压力。传感器部由陶瓷一体构造,具有优秀的再现性、稳定性,在低·中真空领域不受气压的种类影响(可以测量绝对压力),能够进行地测量。特点长期稳定使用陶瓷膜,具有优异的耐腐蚀性内置式温

进口!!ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-1D

进口!!ULVAC爱发科 高精度 电容压力真空计 CCMT-1D


“型号:CCMT-D”、陶瓷气压根据气体的压力变化发生变形、电容真空式计根据静电容量的变化检测压力。
传感器部由陶瓷一体构造,具有优秀的再现性、稳定性,在低·中真空领域不受气压的种类影响(可以测量绝对压力),能够进行地测量。

    特点

    • 长期稳定

    • 使用陶瓷膜,具有优异的耐腐蚀性

    • 内置式温度补偿回路

    • 采用新结构保护传感器结构

    • 可以通过按钮进行零点调整

    用途

    • 用于成膜设备工艺中的压力监控

    • 用于真空溶解、真空热处理炉等真空排气系统的压力监控

    • 用于太阳能电池等各种制造设备的压力监控

    规格

    模型

    CCMT-D

    满量程

    CCMT-1000D

    133千帕(1×10 3托,1.33×10 3毫巴)满量程

    CCMT-100D

    13.3千帕(1×10 2托,1.33×10 2毫巴)满量程

    CCMT-10D

    1.33千帕(10托,13.3毫巴)满量程

    CCMT-1D

    133Pa(1 托,1.33 毫巴)满量程

    解决

    满量程的 0.003%

    准确度*1

    ±0.2%±温度系数相对于显示值(该值表示精度零点调整)

    温度系数

    零电压

    0.015 %满量程/℃

    跨度电压

    0.01% 电阻/℃

    工作温度范围

    10 至 50℃(50 至 122 °F)

    响应率

    30毫秒或更短

    气体接触段材质

    Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3、玻璃陶瓷焊料、Ag Ti Cu硬焊料

    输入功率

    DC14~30V,1W

    输出

    DC 0 至 10V 满量程

    重量

    329克

    方面

    55毫米×117毫米

    温度补偿

    内部温度补偿电路

    电连接器

    D-sub 15针公头(No.4-40,DNC螺丝)

    *1 :非线性、滞后、重复性在 25℃ (77℉) 环境工作温度下无温度影响,运行 2 小时后,调零后
    *2 :28% Ni、23% Co、49% Fe
    *3 :18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

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