原厂供应！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U10HSP
原厂供应！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U10HSP原厂供应！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U10HSP "Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。 特点适合溅射应用。氩气容量是现有型号（U10H）的2
原厂供应！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U10HSP
原厂供应！！ULVAC爱发科 高真空低温泵 CRYO-U10HSP
"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
适合溅射应用。
氩气容量是现有型号（U10H）的2倍。
再生时间间隔延长意味着更高的可用性。
可以进行多个连接（最多3个）。
标准规格
排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 2,400 |
氢 | 3,600 | ||
氩 | 2,000 | ||
水 | 6,900 | ||
极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.30×103(9.8) |
排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 2.0×108(1.5×106) |
氢 | 1.2×106(9.0×103) | ||
冷却下降時間 | min(Hz) | 120/110(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-250,10BANSI | ||
压缩机组 | |||
重量 | Kg | 36.0 | |
*维护周期：16,000小时
*移动托盘可选
外观尺寸 (单位:mm)
