原厂原装！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U20P
原厂原装！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U20P原厂原装！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U20P "Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。 特点特别适用于大型成膜生产设备。特别适用于批量型大型成膜设备。
原厂原装！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U20P
原厂原装！！ULVAC爱发科 标准低温泵 CRYO-U20P
"Model:CRYO-U"，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵Model。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
特别适用于大型成膜生产设备。
特别适用于批量型大型成膜设备。
标准规格
排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 10,000 |
氢 | 18,000 | ||
氩 | 8,400 | ||
水 | 29,000 | ||
极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(8.7) |
排气容量 | 氩 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
氢 | 4.6×106(3.4×104) | ||
冷却下降时间(动力循环) | min(Hz) | 180/160(50/60) | |
吸气口法兰 | UVG-500 | ||
压缩机组 | C30VRT | ||
重量 | Kg | 69.0 | |
*维护周期：16,000小时
外形尺寸 (单位:mm)
