神津精机 MVXA16A-R101 真空兼容型自动X轴平台
神津精机 MVXA16A-R101 真空兼容型自动X轴平台神津精机 MVXA16A-R101 真空兼容型自动X轴平台产品概述：MVXA16A-R101是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型自动X轴平台，采用精密交叉滚柱导轨和研磨丝杠（导程1.0mm），专为真空环境下的精密定位需求而设计。该平台适用于半导体制造、真空镀膜、同步辐射等需要在真空环境中进行高精度定位的应用场景。
神津精机 MVXA16A-R101 真空兼容型自动X轴平台
神津精机 MVXA16A-R101 真空兼容型自动X轴平台
产品概述：
MVXA16A-R101是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型自动X轴平台，采用精密交叉滚柱导轨和研磨丝杠（导程1.0mm），专为真空环境下的精密定位需求而设计。该平台适用于半导体制造、真空镀膜、同步辐射等需要在真空环境中进行高精度定位的应用场景。
核心规格参数：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | MVXA16A-R101 |
| 工作台尺寸 | 160mm × 124mm |
| 导轨方式 | 精密交叉滚柱导轨 |
| 移动范围 | ±30mm（总行程60mm） |
| 进给方式 | 研磨丝杠，导程1.0mm |
| 分辨率（整步/半步） | 2μm / 1μm |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.1μm |
| 最大速度 | 5mm/s |
| 累计定位误差 | ≤10μm / 60mm |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 背隙 | ≤2μm |
| 水平直线度 | ≤2μm / 60mm |
| 垂直直线度 | ≤2μm / 60mm |
| 俯仰/偏摆 | ≤1μm |
| 弯曲刚度 | 0.03 arcsec/N·cm |
| 水平承载能力 | 294N（30kgf） |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 重量 | 3.6kg |
电气规格：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机类型 | 真空兼容型5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 真空兼容D-sub 9针（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
核心设计特征：
一、真空兼容设计
采用真空兼容型5相步进电机
使用真空兼容D-sub 9针连接器（Accu-Glass Products）
适用于高真空环境下的精密定位
二、高精度进给系统
研磨丝杠（导程1.0mm）实现高精度进给
最小分辨率0.1μm（微步进1/20格）
重复定位精度≤±0.5μm
三、精密交叉滚柱导轨
采用精密交叉滚柱导轨，确保运动平稳性
水平直线度≤2μm/60mm
垂直直线度≤2μm/60mm
四、高刚性设计
弯曲刚度0.03 arcsec/N·cm
水平承载能力294N（30kgf）
选型要点：
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 控制器 | 请确认兼容的电机控制器 |
| 驱动器 | 请确认兼容的电机驱动器 |
| 电缆 | 请确认兼容的电机电缆 |
| 配件 | 垫片等配件请确认兼容性 |
典型应用场景：
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 真空镀膜设备 | 镀膜过程中的基板定位 |
| 半导体制造 | 真空环境下的晶圆定位 |
| 同步辐射 | 真空光路中的精密调整 |
| 表面分析 | XPS/AES等真空分析仪器 |
| 光学实验 | 真空环境中的光学元件定位 |
综合价值：
神津精机MVXA16A-R101真空兼容型自动X轴平台通过真空兼容型5相步进电机、研磨丝杠高精度进给（最小分辨率0.1μm）、精密交叉滚柱导轨（重复定位精度±0.5μm）及高刚性设计（承载294N），为真空环境下的精密定位提供了高可靠性、高精度的解决方案，适用于真空镀膜、半导体制造、同步辐射等需要在真空环境中进行精密定位的应用场景。
