神津精机 MVZA16A-W2C01 真空兼容型自动Z轴平台
神津精机 MVZA16A-W2C01 真空兼容型自动Z轴平台神津精机 MVZA16A-W2C01 真空兼容型自动Z轴平台产品概述：MVZA16A-W2C01是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型自动Z轴平台，采用楔形升降机构和精密交叉滚柱导轨，专为真空环境下的高精度垂直定位需求而设计。该平台适用于半导体制造、真空镀膜、同步辐射等需要在真空环境中进行精密Z轴定位的应用场景。
神津精机 MVZA16A-W2C01 真空兼容型自动Z轴平台
神津精机 MVZA16A-W2C01 真空兼容型自动Z轴平台
产品概述：
MVZA16A-W2C01是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型自动Z轴平台，采用楔形升降机构和精密交叉滚柱导轨，专为真空环境下的高精度垂直定位需求而设计。该平台适用于半导体制造、真空镀膜、同步辐射等需要在真空环境中进行精密Z轴定位的应用场景。
核心规格参数：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | MVZA16A-W2C01 |
| 工作台尺寸 | 160mm × 160mm |
| 导轨方式 | 精密交叉滚柱导轨 |
| 移动范围 | ±8mm（总行程16mm） |
| 进给方式 | 1/4英寸楔形结构，滚珠丝杠导程1.0mm |
| 分辨率（整步/半步） | 0.5μm / 0.25μm |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.025μm |
| 最大速度 | 1.25mm/s |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 背隙 | ≤±0.5μm |
| 垂直度 | ≤10μm / 16mm |
| 水平承载能力 | 196N（20kgf） |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 重量 | 7.1kg |
电气规格：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机类型 | 真空兼容型5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 真空兼容D-sub 9针（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
核心设计特征：
一、真空兼容设计
采用真空兼容型5相步进电机
使用真空兼容D-sub 9针连接器（Accu-Glass Products）
适用于高真空环境下的精密垂直定位
二、楔形升降机构
采用1/4英寸楔形结构设计
实现紧凑的Z轴升降运动
最小分辨率0.025μm（微步进1/20格）
重复定位精度≤±0.5μm
三、精密交叉滚柱导轨
采用精密交叉滚柱导轨，确保垂直运动平稳性
垂直度≤10μm/16mm
四、高耐久性滚珠丝杠
进给机构采用高耐久性滚珠丝杠（导程1.0mm）
确保长期稳定运行
选型要点：
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 控制器 | 请确认兼容的电机控制器 |
| 驱动器 | 请确认兼容的电机驱动器 |
| 电缆 | 请确认兼容的电机电缆 |
| 配件 | 垫片等配件请确认兼容性 |
典型应用场景：
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 真空镀膜设备 | 镀膜过程中基板的垂直定位 |
| 半导体制造 | 真空环境下的晶圆Z轴对焦 |
| 同步辐射 | 真空光路中的垂直调整 |
| 表面分析 | XPS/AES等真空分析仪器的样品台 |
| 光学实验 | 真空环境中的光学元件垂直定位 |
综合价值：
神津精机MVZA16A-W2C01真空兼容型自动Z轴平台通过楔形升降机构（紧凑型垂直运动）、真空兼容型5相步进电机、研磨滚珠丝杠高精度进给（最小分辨率0.025μm）、精密交叉滚柱导轨（重复定位精度±0.5μm）及高刚性设计（承载196N），为真空环境下的精密垂直定位提供了高可靠性、高精度的解决方案，适用于真空镀膜、半导体制造、同步辐射等需要在真空环境中进行精密Z轴定位的应用场景。
