神津精机 MVSA13A-RM01 真空兼容型旋转摆动平台
神津精机 MVSA13A-RM01 真空兼容型旋转摆动平台神津精机 MVSA13A-RM01 真空兼容型旋转摆动平台产品概述：MVSA13A-RM01是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型旋转摆动平台，采用精密交叉滚柱导轨和蜗轮蜗杆传动系统，在保持工作台面水平的同时实现±10°的精密摆动运动。该平台专为真空环境下的高精度角度调节需求而设计，适用于半导体制造、真空镀膜、同步
神津精机 MVSA13A-RM01 真空兼容型旋转摆动平台
神津精机 MVSA13A-RM01 真空兼容型旋转摆动平台
产品概述：
MVSA13A-RM01是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型旋转摆动平台，采用精密交叉滚柱导轨和蜗轮蜗杆传动系统，在保持工作台面水平的同时实现±10°的精密摆动运动。该平台专为真空环境下的高精度角度调节需求而设计，适用于半导体制造、真空镀膜、同步辐射等应用场景。
核心规格参数：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | MVSA13A-RM01 |
| 工作台面 | 130mm × 130mm |
| 导轨方式 | 精密交叉滚柱导轨 |
| 摆动范围 | ±10° |
| 旋转范围 | ±10° |
| 进给方式 | 蜗杆+蜗轮 1/400 |
| 分辨率（整步/半步） | 0.0018° / 0.0009° |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.00009° |
| 最高速度 | 4.5°/s |
| 反向间隙 | ≤0.01° |
| 回差 | ≤0.006° |
| 弯曲刚度 | 0.02 arcsec/N·cm |
| 水平承载能力 | 98N（10kgf） |
| 工作距离 | 173mm ± 0.5mm |
| 旋转中心位移 | φ0.05mm / ±10° |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 重量 | 5.1kg |
电气规格：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机类型 | 真空兼容型5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 真空兼容D-sub 9针（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
核心设计特征：
一、真空兼容设计
采用真空兼容型5相步进电机
使用真空兼容D-sub 9针连接器（Accu-Glass Products）
适用于高真空环境下的精密摆动定位
二、高精度蜗轮蜗杆传动
蜗轮蜗杆减速比1/400
最小分辨率0.00009°（微步进1/20格）
反向间隙≤0.01°
三、精密交叉滚柱导轨
采用精密交叉滚柱导轨，确保摆动运动平稳性
旋转中心位移≤φ0.05mm/±10°
四、高刚性设计
弯曲刚度0.02 arcsec/N·cm
水平承载能力98N（10kgf）
真空兼容定位平台系列对比：
| 项目 | MVXA16A-R101（X轴） | MVZA16A-W2C01（Z轴） | MVRA16A-WH01（旋转） | MVSA13A-RM01（旋转摆动） |
|---|---|---|---|---|
| 运动轴 | X轴直线 | Z轴直线 | θ轴旋转 | θ轴摆动 |
| 行程 | ±30mm | ±8mm | ±170° | ±10° |
| 最小分辨率 | 0.1μm | 0.025μm | 0.0002° | 0.00009° |
| 重复精度 | ±0.5μm | ±0.5μm | 0.01° | — |
| 承载能力 | 294N | 196N | 588N | 98N |
| 重量 | 3.6kg | 7.1kg | 5.6kg | 5.1kg |
选型要点：
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 控制器 | 请确认兼容的电机控制器 |
| 驱动器 | 请确认兼容的电机驱动器 |
| 电缆 | 请确认兼容的电机电缆 |
| 配件 | 垫片等配件请确认兼容性 |
典型应用场景：
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 真空镀膜设备 | 镀膜过程中基板的角度微调 |
| 半导体制造 | 真空环境下的晶圆倾斜校正 |
| 同步辐射 | 真空光路中的角度调整 |
| 表面分析 | XPS/AES等真空分析仪器的样品台角度调节 |
| 光学实验 | 真空环境中的光学元件角度定位 |
综合价值：
神津精机MVSA13A-RM01真空兼容型旋转摆动平台通过蜗轮蜗杆高精度传动（最小分辨率0.00009°）、真空兼容型5相步进电机、精密交叉滚柱导轨及高刚性设计（承载98N），为真空环境下的精密摆动定位提供了高可靠性、高精度的解决方案，适用于真空镀膜、半导体制造、同步辐射等需要在真空环境中进行精密角度微调的应用场景。