池田屋！KOFLOC ST-500 PI质量流量控制器
产品概述：ST-500是KOFLOC（科赋乐）推出的一款PI（Pressure Insensitive）质量流量控制器，采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP处理以及氧化覆膜处理，可以对应腐蚀性流体。该产品在流量传感器前段搭载压力传感器，捕捉压力变动及变动前的变化，实时修正阀的开度，实现针对压力变化的稳定流量控制。核心规格参数：项目ST-500（100SCCM～10SLM）ST-500（30SLM
产品概述：
ST-500是KOFLOC（科赋乐）推出的一款PI（Pressure Insensitive）质量流量控制器，采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP处理以及氧化覆膜处理，可以对应腐蚀性流体。该产品在流量传感器前段搭载压力传感器，捕捉压力变动及变动前的变化，实时修正阀的开度，实现针对压力变化的稳定流量控制。
核心规格参数：
| 项目 | ST-500（100SCCM～10SLM） | ST-500（30SLM） |
|---|---|---|
| 传感器类型 | 热式绕组传感器 | 热式绕组传感器 |
| 阀门 | 比例电磁阀（断电时关闭） | 比例电磁阀（断电时关闭） |
| 流量量程（N₂换算） | 100SCCM～10SLM | 30SLM |
| 控制范围 | 2～100%F.S. | 2～100%F.S. |
| 响应性 | 1sec以内 | 1sec以内 |
| 精度 | ±1%S.P.（10～100%F.S.）；±0.1%F.S.（2～10%F.S.） | 同左 |
| 重现性 | ±0.2%F.S. | ±0.2%F.S. |
| 动作压差 | 50～300kPa | 200～300kPa |
| 入口最大压力 | 300kPa(G) | 300kPa(G) |
| 耐压 | 1MPa(G) | 1MPa(G) |
| PI机能 | Overshoot ±2%F.S. | Overshoot ±2%F.S. |
| 外部泄漏率 | 1×10⁻¹¹Pa·m³/sec以下 | 1×10⁻¹¹Pa·m³/sec以下 |
| 允许环境温度 | 5～50℃ | 5～50℃ |
| 精度保证温度 | 15～40℃ | 15～40℃ |
| 接触气体部位材质 | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni |
| 通信接口 | DeviceNet M12(Male)5pin | DeviceNet M12(Male)5pin |
| 电源 | 11～25VDC（5VAmax） | 11～25VDC（5VAmax） |
| 接头尺寸 | 1.125"W密封 92mm / 1/4VCR相当 | 同左 |
| 重量 | 约1000g | 约1000g |
CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等