池田屋！KOFLOC EX-550C 全金属数字质量流量控制器
产品概述：EX-550C是KOFLOC（科赋乐）EX-550系列中的一款全金属数字质量流量控制器，配备高速绕线传感器，具有出色的稳定性。该产品采用金属密封结构，SEMI兼容106mm表面（可选124mm），RS485通信标准配备，可对应高精度腐蚀性气体。核心规格参数：项目EX-550C形式质量流量控制器（MFC）传感器方式热绕组传感器阀门方式比例螺线管阀门（未通电时关闭）目标气体N₂、Air、H₂
产品概述：
EX-550C是KOFLOC（科赋乐）EX-550系列中的一款全金属数字质量流量控制器，配备高速绕线传感器，具有出色的稳定性。该产品采用金属密封结构，SEMI兼容106mm表面（可选124mm），RS485通信标准配备，可对应高精度腐蚀性气体。
核心规格参数：
| 项目 | EX-550C |
|---|---|
| 形式 | 质量流量控制器（MFC） |
| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
| 阀门方式 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） |
| 目标气体 | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等（未列出的气体换算成N₂） |
| 流量范围 | 10SCCM～5SLM |
| 控制范围 | 2～100%（F.S.） |
| 响应速度 | 总流量控制范围在1sec内（within ±2%F.S.） |
| 精度 | ±1.0%SP（25%FS至100%FS），±0.25%FS（25%FS） |
| 重现性 | ±0.2%F.S. |
| 工作压差 | L：50～149kPa；H：150～300kPa |
| 最大入口压力 | 350kPa(G) |
| 耐压 | 980kPa(G) |
| He泄漏率 | 1×10⁻¹¹Pa·m³/sec以下 |
| 允许环境温度 | 5～50℃ |
| 精度保证温度 | 15～35℃ |
| 气体接触材料 | SUS316L、磁性不锈钢、PTFE、Ni-Co |
| 电气连接 | D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准）、HR-10A×2 |
| 流量设定输入信号 | 0-5VDC或4-20mA可选 |
| 流量输出信号 | 0-5VDC或4-20mA可选 |
| 数字通信 | RS485（通过旋转开关设置地址） |
| 所需电源 | +15VDC（±5%）100mA以下 / -15VDC（±5%）150mA以下 或 +24VDC（±10%）180mA以下 |
| 接头 | 相当于1/4 VCR |
| 安装姿势 | 未指定 |
| 重量 | 约800g |
CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等