池田屋 OTSUKA/大塚电子显微薄膜厚度计 OPTM-A1-Otsuka大塚电子-池田屋实业

池田屋 OTSUKA/大塚电子显微薄膜厚度计 OPTM-A1

OTSUKA/大塚电子（Otsuka Electronics）推出的 OPTM 系列显微薄膜厚度计，型号 OPTM-A1，是一款利用显微光谱技术测量微小区域绝对反射率，从而实现对薄膜厚度和光学常数进行高精度分析的光学测量设备。该产品适用于各种薄膜、晶圆和光学材料上的涂层及多层膜厚度测量，测量每点仅需 1 秒，可实现高速非破坏性、非接触式检测。配备专用分析软件，即使初次使用者也能进行光学常数分析。

型号构成与测量规格

OPTM-A1 为紫外-可见光波段型号，测量波长范围为 230-800nm。薄膜厚度测量范围基于 SiO₂ 计算为 1nm 至 35μm。光斑直径可选 φ5、φ10、φ20、φ40μm，可根据样品结构选择合适的光斑尺寸。样品台兼容最大尺寸为 200mm×200mm×17mm 的样品，支持 300mm 平台规格（需另行咨询）。

平台类型与机械规格

该系列提供三种平台配置：

项目	自动XY平台型	固定框架型	内置式头部
尺寸（宽×深×高）	556×566×618mm	368×468×491mm	210×441×474mm（头部）/90×250×190mm（电源）
重量	66kg	38kg	23kg（头部）/4kg（电源）
最大功耗	AC100V±10V 500VA	AC100V±10V 400VA	—

自动 XY 平台型适用于多点自动测量与 mapping 分析，固定框架型适用于单点或少量样品测量，内置式头部适用于集成到已有设备或产线中。

测量项目与应用

OPTM-A1 支持多种薄膜分析项目，包括：单层膜厚测量、多层膜厚测量、光学常数（n、k 值）分析、反射率光谱测量、膜厚分布 mapping 等。非破坏性、非接触式的测量方式使其适用于半导体晶圆、光学镀膜、平板显示、功能性薄膜及涂层材料等领域。

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

Otsuka大塚电子

池田屋 OTSUKA/大塚电子 显微薄膜厚度计 OPTM-A1

池田屋 OTSUKA/大塚电子显微薄膜厚度计 OPTM-A1