Otsuka大塚电子

池田屋 OTSUKA/大塚电子 智能薄膜厚度计 SM-100S

池田屋 OTSUKA/大塚电子 智能薄膜厚度计 SM-100S池田屋 OTSUKA/大塚电子 智能薄膜厚度计 SM-100SOTSUKA/大塚电子(Otsuka Electronics)推出的 SM-100 系列智能薄膜厚度计,型号 SM-100S,是一款高精度便携式薄膜测厚仪。该产品采用反射光谱法(光学干涉法)进行薄膜厚度测量,可携带至生产现场使用,操作简单,即使手持状态下也能实现高精度测量。对

池田屋 OTSUKA/大塚电子 智能薄膜厚度计 SM-100S

池田屋 OTSUKA/大塚电子 智能薄膜厚度计 SM-100S

OTSUKA/大塚电子(Otsuka Electronics)推出的 SM-100 系列智能薄膜厚度计,型号 SM-100S,是一款高精度便携式薄膜测厚仪。该产品采用反射光谱法(光学干涉法)进行薄膜厚度测量,可携带至生产现场使用,操作简单,即使手持状态下也能实现高精度测量。对于形状固定的样品,可进行非破坏性测量。该设备适用于半导体、光学镀膜及功能性薄膜领域的膜厚检测与品质管理。

型号构成与测量规格

SM-100S 为标准版型号,采用反射光谱法(光学干涉法)测量原理。测量薄膜厚度范围基于样品折射率 1.6 计算为 1-50μm(单层),支持单层膜结构分析。测量重复性为 2.1σ 0.01μm(SiO₂ 薄膜 1μm 标准),具有良好的测量稳定性。测量点直径为 1mm 或更小,适用于微小区域膜厚测量。

数据输出与便携规格

数据输出格式支持以文本格式导出至 U 盘,便于数据存档与后续分析。主机外形尺寸约为 138mm(宽)×198mm(深)×61mm(高,含凸起部分),质量约 1.1kg,具备良好的便携性。内置电池运行时间超过 4 小时(测量进行中),可满足现场连续测量需求。电源适配 AC100-240V,功耗 35VA(交流适配器输入),支持全球主要地区的电网标准。防护等级为 IP30/IK06,适用于一般工业现场环境。

操作与测量特点

该产品针对传统膜厚测量中“测量结果因人而异”及“测量精度差”等常见问题进行了优化设计。便携式设计使其可直接携带至生产现场使用,无需将样品带回实验室。手持状态下仍能保持高精度测量,降低了操作人员技能差异对测量结果的影响。对于形状固定的样品,可进行非破坏性测量,适用于成品或半成品的在线抽检。设备操作界面简洁,即使初次使用者也能较快上手。

环境与存储条件

使用温度范围为 15℃~30℃,相对湿度 60% 以下(无结露),建议在稳定环境中使用以保证测量精度。防护等级 IP30(防尘)及 IK06(防冲击),可适应一般工业现场环境。




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