原厂原装日本VAT61.3系列 高压蝶阀控制阀 61328-KEGK

原厂原装日本VAT61.3系列 高压蝶阀控制阀 61328-KEGK

池田屋专注日系精密真空流体设备整合供应，依托完善的货源筛选机制、稳定现货储备与全维度售后支持，面向多行业精密制程提供适配进口配件，助力企业搭建稳定洁净的真空生产体系。本次推介的 VAT61.3 系列高压蝶阀控制阀 61328-KEGK，面向中小型精密真空管路工况开发，适配精细化真空工艺配套，可满足各类对压力调节有要求的制程应用。

设备采用 DN25（1 英寸）通径，搭配 ISO-KF 法兰结构，装配操作简便，管路适配性良好，既可用于全新真空设备配套搭建，也可用于原有管路的更新改造。阀体选用不锈钢加工成型，整机重量 2.7 公斤，机身小巧紧凑，支持长时间连续作业。阀体内置步进电机执行机构，搭载基础版控制器、RS485 通讯接口与双传感器检测模组，持续采集管路压力信号，动态调整阀板开度，对介质流量进行精细化管控，优化制程运行效率。

阀门配置 FKM 密封组件，结构布局简洁，减少运行故障风险。设备可实现 1×10⁻⁸mbar 真空环境作业，腹腔承压上限 1.2bar，板上压差控制在 1bar 以内，整机泄漏率低至 1×10⁻⁹LS⁻¹，阻隔气体外溢，维持腔体真空环境。阀门启闭响应迅速，90 毫秒完成开合动作，氮气分子流可控区间 0.15ls⁻¹ 至 22ls⁻¹，兼顾微量节流与常规通流需求。阀体最高耐受温度≤150℃，支持 200 万次启闭周期免维护，减少运维物料投入。

该款蝶阀可应用于半导体、光伏新能源、光学镀膜、精密装备制造，以及科研院所实验、新材料研发等真空领域，适配中小型真空系统工况。

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