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日本原装VAT 系列61.3高压蝶阀控制阀 61332-KAAX

日本原装VAT 系列61.3高压蝶阀控制阀 61332-KAAX智能制造真空产线对于多节点压力同步调控的需求持续提升,高速实时总线通讯,是实现下游压力瞬时、精准调控的关键基石。这款 VAT 61.3 系列 61332-KAAX 高压蝶阀控制阀,搭载 EtherCAT 工业实时总线,配合双传感器协同采集,依托毫秒级响应能力实现快速、精准的下游压力控制,适配中小型成套真空设备的自动化集成项目。阀门采用

日本原装VAT 系列61.3高压蝶阀控制阀 61332-KAAX


智能制造真空产线对于多节点压力同步调控的需求持续提升,高速实时总线通讯,是实现下游压力瞬时、精准调控的关键基石。这款 VAT 61.3 系列 61332-KAAX 高压蝶阀控制阀,搭载 EtherCAT 工业实时总线,配合双传感器协同采集,依托毫秒级响应能力实现快速、精准的下游压力控制,适配中小型成套真空设备的自动化集成项目。


阀门采用 DN40(1 1/2 英寸)通径,搭配 ISO-KF 标准法兰,拆装便捷,管路兼容性优秀,便于设备集成与产线改造。阀体选用轻量化铝合金打造,整机仅 2.3 公斤,降低支架承载负荷,更适合机柜内部紧凑空间布局。内置步进电机执行机构,搭配 SPS 控制器,EtherCAT 总线可以高速传输阀位与压力数据,双传感器同步采集下游压力变化,实时反馈调节,抑制压力波动,保障工艺参数稳定。


阀件配备 FKM 密封件,密封性能持久可靠,泄漏率低至 1×10⁻⁹LS⁻¹,可稳定维持 1×10⁻⁸mbar 高真空条件,腹腔承压上限 1.2bar,板上压差管控稳定。90 毫秒极速启闭,氮气分子流调节范围 0.25ls⁻¹ 至 80ls⁻¹,微量节流与常规通气均可精准实现。阀体耐温可达 150℃,拥有 200 万次启闭免维护周期,有效减少停机检修时间。


该蝶阀适合自动化精密镀膜、材料表征设备、小型半导体工艺模块等场景。依托 EtherCAT 高速通讯、轻量化机身、快速精准下游稳压的优势,可无缝接入自动化控制系统,提升整套真空设备工艺一致性。如需工况评估、参数核对,欢迎咨询。


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