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池田屋原厂原装 VAT 系列 10.8 UHV 门阀 10836-PE14

池田屋原厂原装 VAT 系列 10.8 UHV 门阀 10836-PE14在半导体精密制程、超高真空科研与高端光学制备领域,稳定的真空隔离环境、高效通流能力与宽温耐受性能,是保障工艺良率的核心关键。普通阀件难以达标高端UHV超高真空隔离规范,易出现真空泄漏、通量不足、高温失效等问题。池田屋严选原厂原装VAT 10836-PE14超高真空门阀,依托品牌精湛精密制造工艺,以低放气、低能耗、长周期稳定运

池田屋原厂原装 VAT 系列 10.8 UHV 门阀 10836-PE14



在半导体精密制程、超高真空科研与高端光学制备领域,稳定的真空隔离环境、高效通流能力与宽温耐受性能,是保障工艺良率的核心关键。普通阀件难以达标高端UHV超高真空隔离规范,易出现真空泄漏、通量不足、高温失效等问题。池田屋严选原厂原装VAT 10836-PE14超高真空门阀,依托品牌精湛精密制造工艺,以低放气、低能耗、长周期稳定运行的特质,减少设备维保频次与资源损耗,贴合精密产业绿色高效的生产发展理念。


本款DN63规格门阀适配主流工业管路,搭载ISO-F标准法兰,对接精度高、密封性优异,适配各类高端真空设备集成与产线升级。产品拥有顶级真空适配性能,可稳定维持1×10⁻¹⁰MBAR极致超高真空至1.6bar压力工况,耐受1.6bar板间压差,仅0.03bar超低开启压差,启闭顺滑无扰动,严格契合行业超高真空隔离标准。


阀体采用高品质不锈钢精工打造,洁净度高、抗腐耐造、极低释气,适配精密洁净制程。阀体耐温可达250℃,执行器最高耐受200℃,可适配高频高温烘烤除气工艺,长效维持腔体洁净真空状态。设备搭载双作用气动驱动结构,无电磁阀冗余设计,结构精简故障率低,适配4-7bar工业标准气源。依托0.08升精密气缸,实现1秒平稳启闭,搭配600 ls⁻¹超大流导,兼顾超高隔离精度与高效通气作业,9公斤稳固机身可长期适配连续精密工况。


本品凭借超稳UHV真空隔离、宽温耐造、大通量高效、低耗长效的核心优势,是高端超高真空系统的优选配件。


池田屋原厂货源纯正靠谱、性能稳定,有工况选型、批量采购需求,欢迎广大客户咨询对接。

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