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原装进口日本 VAT 系列 11.1 高压闸阀 11140-PE28

原装进口日本 VAT 系列 11.1 高压闸阀 11140-PE28精密真空镀膜、半导体制程与大型科研真空系统,对阀门开度可控性、通流稳定性有着精细化严苛要求,常规两档阀件仅能全开全关,无法适配梯度调压、渐进式换气工艺,易造成腔体气流冲击、工艺良率波动,同时多余能耗损耗也难以适配现代工业绿色精益生产要求。原装进口日本VAT 11140-PE28高压闸阀依托11.1系列成熟精密工艺,搭载独特三档双作

原装进口日本 VAT 系列 11.1 高压闸阀 11140-PE28



精密真空镀膜、半导体制程与大型科研真空系统,对阀门开度可控性、通流稳定性有着精细化严苛要求,常规两档阀件仅能全开全关,无法适配梯度调压、渐进式换气工艺,易造成腔体气流冲击、工艺良率波动,同时多余能耗损耗也难以适配现代工业绿色精益生产要求。原装进口日本VAT 11140-PE28高压闸阀依托11.1系列成熟精密工艺,搭载独特三档双作用气动结构,突破传统阀件控制局限,对标行业超高真空隔离标准,为精细化高压真空工况提供可控、高效、低耗的新型解决方案。


产品采用DN100大口径规格,搭配通用ISO-F法兰,适配各类大型真空设备新装与产线升级改造。整机采用优质不锈钢精工锻造,质地致密、低释气、耐腐蚀,可长期维持洁净真空作业环境。设备工况适配性极强,可稳定运行于1×10⁻⁸MBAR超高真空至1.6bar高压区间,耐受1.6bar板间压差,0.03bar超低开启压差,启闭过程柔和无扰动,从根源守护腔体真空精度。


区别于普通阀件,本品三档气动设计可实现多档位开度调节,适配多样化制程工艺,双作用气动驱动动力稳定,适配4-7bar工业常规气源,1.2秒匀速启闭高效可控。搭配1740 ls⁻¹超大流导,大幅提升大型腔体换气效率,赋能产能升级。设备耐温性能优异,150℃阀体、120℃执行器适配连续中温工况,80℃耐温可视位置信号,实时反馈运行状态,简化运维巡检。13公斤机身结构稳固,无电磁阀冗余设计,故障率低、免维护周期长,有效降低运维成本与能源消耗,践行工业环保理念。


凭借档位可控、大通量、超高真空稳控、宽温耐用的独家优势,该款闸阀是精细化大型真空工况的优选设备。


原装进口品质保真、性能出众,有工况选型、批量采购需求,欢迎新老客户咨询洽谈。

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