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池田屋原厂直售 Ohtomo大智化学 切割液 CL-895

池田屋原厂直售 Ohtomo大智化学 切割液 CL-895池田屋原厂直售 Ohtomo大智化学 切割液 CL-895大智化学产业株式会社(Ohtomo Chemical)的CL-895是一款水溶性切割液,专为游离磨料线锯(砂浆线切割)工艺开发,适用于SiC等化合物半导体、硅、蓝宝石、水晶、玻璃、石英等多种材料的切片加工。该产品与磨料混合成砂浆后使用,采用胶状分散体(Colloid)技术,具备良好的

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池田屋原厂直售 Ohtomo大智化学 切割液 CL-895

大智化学产业株式会社(Ohtomo Chemical)的CL-895是一款水溶性切割液,专为游离磨料线锯(砂浆线切割)工艺开发,适用于SiC等化合物半导体、硅、蓝宝石、水晶、玻璃、石英等多种材料的切片加工。该产品与磨料混合成砂浆后使用,采用胶状分散体(Colloid)技术,具备良好的分散效果与再分散性。

一、基本规格

CL-895的使用方式为原液+砂(GC、钻石粉等)混合成砂浆后使用。该产品为水溶性切割液,主成分为水与丙二醇,非危险物(无引火点)。推荐钻石粉粒径为3~7μm,一般使用浓度为20~30wt%。参考数据中采用钻石粉浓度10wt%、粒径6μm时,CL-895砂浆在25℃、60rpm回转条件下的粘度为26.2 mPa·s。

二、胶状分散体技术

CL-895的核心技术为胶状分散体(Colloid)。该分散机构具备良好的分散效果,可有效加工DP,切削时提高平坦度,改善Warp、Bow、TTV等数值。该产品具备良好的再分散性,堆积层再分散性提高,不易附着在晶圆及设备上,便于清洗。此外,该产品具备良好的分离性,可实现DP的循环使用,通过离心分离的使用可减少新DP的添加。

三、分散性能

根据分散性调查,与油性钻石粉砂浆比较时,CL-895钻石粉砂浆的分散效果更好。测定条件为混合钻石粉粒径3.5μm、浓度5wt%。粒径分布结果显示,10%径方面油性泥浆为2.38、CL-895泥浆为2.35;50%径方面油性为4.04、CL-895为3.64;90%径方面油性为7.03、CL-895为5.64。静置状态下,3小时后沉淀体积为49ml,8小时后为47ml,72小时后为7ml,上层部分还有一部分DP残留,但大部分已沉淀于底。最后堆积物较柔软,再分散效果良好,可提高洗净效果。

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