进口原装Malema 小口径中微量集成式超声波流量计 M-2700-3R-04

产品适配3/8英寸工业常用管路，标准量程4LPM，精准覆盖中微量流体工艺区间。测量性能稳定，满量程10%以上工况可保持±1%读数精度，±0.5%读数重复性，可满足半导体精密沉积工艺的流量调控标准。管路采用特殊弯折结构，无内部凸起与滞留死角，流体输送顺畅，无压力损耗，不会影响工艺流体的输送稳定性。

设备接液部件均为高纯PFA材质，可适配酸、碱、有机溶剂、细微抛光浆料等多种半导体工艺介质，适配多元化工流体工况。非接液部位采用PEEK、聚丙烯、FEP材质，结构稳固，适配长期连续运行。整机功耗低，额定工作电流仅100mA，适配工业24VDC供电体系，运行能耗稳定。

信号输出功能全面，兼容多路模拟量、数字量输出，脉冲频率最高可达10KHz，脉冲重量可精细调节，搭配RS485通讯可实现远程参数调试与数据传输。设备耐受常规工业温压工况，IP64防护等级适配车间常规环境，多用于半导体ECD电镀、无电沉积、小型光伏湿法设备、精密冷却系统流体监测。