池田屋精品 Malema 分体式直列式微量高纯超声波流量计M‑1500MB

池田屋精品 Malema 分体式直列式微量高纯超声波流量计 M‑1500MB

池田屋精品 Malema 分体式直列式微量高纯超声波流量计 M‑1500MB

M‑1500MB 直列式微量高纯超声波流量计采用分体架构，由小型流量传感器与远程电子处理单元组成，二者通过线缆连接。该布局可以将体积小巧的传感器安置在设备内部狭小空间，电子单元布置于便于调试查看的位置，适配高密度集成设备的安装约束。传感器采用直通式流道，内部不存在阻挡构件，无滞留死区，流道内部没有运动构件，运行过程不会产生机械磨损。

接液管路与本体全部采用 PFA 材质，外壳配套 PTFE、PP 等部件，可规避离子与颗粒析出，适配高纯工艺介质。测量量程覆盖 4‑600 ml/min，能够捕捉下限至 4 ml/min 的微弱流体流动，测量误差控制在 ±2%，在满量程 10% 以上区间重复性可达 ±1% 读数。设备最大工作压力 70psig，流体工作温度区间 10‑60℃，环境温度 0‑46℃，适配车间常规工况。

设备搭载 DSP 数字信号处理算法，对超声信号做解析处理，提升复杂工况下信号处理能力。直流通路设计带来较低流阻，不会对微量流体管路形成额外的输送负担。该仪表适配各类液态介质，可用于半导体 CMP、ECD、无电沉积、湿法清洗设备，也可用于医疗器械药液回路、光伏设备、激光冷却、各类湿法化学品分配系统。

选型阶段核对管路外径、实际流量区间以及介质温度压力。装配完成后完成系统调试，确认线缆连接状态，保障微量流体工况下，传感器与远程电子单元之间信号传输稳定，为微量高纯流体工艺提供持续的流量监测信号。

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