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进口原装Malema 高纯直角流量开关 M-200-F系列

进口原装Malema 高纯直角流量开关 M-200-F系列进口原装Malema 高纯直角流量开关 M-200-F系列M-200-F 系列可调流量开关,专为高纯制造流体监测开发,经过现场测试,能够感知气体与液体流量的上升及下降变化。产品接液区域全部采用 PFA 与 PTFE 材质,适配半导体晶圆加工以及各类特殊化学介质工艺管路,直角流道结构搭配内螺纹 NPT 接口,整体结构小巧紧凑,便于管路集成。该

进口原装Malema 高纯直角流量开关 M-200-F系列


进口原装Malema 高纯直角流量开关 M-200-F系列



M-200-F 系列可调流量开关,专为高纯制造流体监测开发,经过现场测试,能够感知气体与液体流量的上升及下降变化。产品接液区域全部采用 PFA 与 PTFE 材质,适配半导体晶圆加工以及各类特殊化学介质工艺管路,直角流道结构搭配内螺纹 NPT 接口,整体结构小巧紧凑,便于管路集成。


该系列拥有宽泛的流量检测范围,水介质流量最高可达 38000ccm,空气介质流量上限 2800SLPM,重复性保持 5%,为工艺回路提供稳定的流量状态反馈。触点配置包含 SPST 与 SPDT 两种形式,可依据高低流量监测需求选择对应的信号输出方案。设备支持工厂预校准,可按项目工况预先标定设定点,缩短现场调试时间,也可选用标准预标定规格直接使用。


应用工程师可提供选型咨询,协助匹配材质与工况需求,特殊配置也可对接厂家评估。适用场景包含气液分析仪、生物医疗仪器、气氛炉、气相色谱仪、真空系统与各类工业流体管线。可监测激光器、焊机、X 光管、半导体设备的冷却介质,在冷却液断流时输出信号,保护贵重电子设备;也可监测轴承、齿轮润滑介质,减少设备停机情况。


同时适配净水过滤、药剂投加、真空炉、感应炉等流体处理与分配设备,对氢气、氧气、氮气、氩气、氦气等多种气体与各类液态介质均可实现监测。安装时做好管路过滤与密封,减少杂质进入腔体,保障设备持续稳定采集流体流量信号。


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