日本原厂Malema 高纯管路压力传感器 KL-92系列
日本原厂Malema 高纯管路压力传感器 KL-92系列日本原厂Malema 高纯管路压力传感器 KL-92系列KL92 管线式压力传感器,3/4 英寸通径规格,测量量程可选 0~50psig、0~75psig,允许最大承压 120psig。接液结构采用 PFA、PTFE 材质,氧化铝传感器表面带有 PTFE 涂层,无 O 型圈密封结构,减少密封件析出,适配高纯流体与 CMP 浆料介质。设备运行环
日本原厂Malema 高纯管路压力传感器 KL-92系列日本原厂Malema 高纯管路压力传感器 KL-92系列KL92 管线式压力传感器,3/4 英寸通径规格,测量量程可选 0~50psig、0~75psig,允许最大承压 120psig。接液结构采用 PFA、PTFE 材质,氧化铝传感器表面带有 PTFE 涂层,无 O 型圈密封结构,减少密封件析出,适配高纯流体与 CMP 浆料介质。设备运行环
日本原厂Malema 高纯管路压力传感器 KL-92系列
日本原厂Malema 高纯管路压力传感器 KL-92系列
KL92 管线式压力传感器,3/4 英寸通径规格,测量量程可选 0~50psig、0~75psig,允许最大承压 120psig。接液结构采用 PFA、PTFE 材质,氧化铝传感器表面带有 PTFE 涂层,无 O 型圈密封结构,减少密封件析出,适配高纯流体与 CMP 浆料介质。
设备运行环境湿度 25~89%,传感器内腔不可出现冷凝水。端部配件可选喇叭形、柱式、20S 型、管状,接头包含 Flaretek、Tube、Pillar Super300 公母接头,适配大管径洁净管路安装。
电气输入输出方案多样,供电规格 12~24VDC 或 24VDC,输出包含 4-20mA、0~10V、1~5V、0~5V,可对接各类工控采集设备。
3/4 英寸大通径,流体流通阻力低,适合大流量纯水、CMP 浆液主管路。管线直装式结构,直接串入管路,减少转接配件,降低死体积。可监测过滤器前后压力,判断滤芯堵塞,也用于主输送管路压力记录。
Pillar Super300 接头版本配套螺母套筒,拆装便捷,维持管路洁净。传感器可安装在流体供给柜主回路,持续采集压力数据,识别管路压力波动,多用于半导体抛光、大流量纯水输送系统,为制程监控提供数据支撑。
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