原装进口MALEMA 工艺安全系统联锁装置 MIID-1000

原装进口MALEMA 工艺安全系统联锁装置 MIID-1000 单块本体单元

原装进口MALEMA 工艺安全系统联锁装置 MIID-1000 单块本体单元

MIID-1000 为集成式气动联锁保护装置，用于大宗化学品与高纯水输送回路，防范回流虹吸造成的原料污染。整套单元由多组气动阀构成，阀门协同动作，在系统压力波动时隔离物料供给回路。

接液全部采用高纯 PFA 与改性 PTFE，非接液部分搭配 PVDF、Halar 涂层不锈钢等材质，密封件选用 Viton。阀门 Cv 值 0.8，阀组件在去离子水环境经过千万次循环测试，耐受长时间连续启闭。介质压力适用区间 0~80PSIG，气动驱动压力 60~120PSIG，介质温度范围覆盖 - 17.7℃至 130℃。

装置自带泄漏检测模块，可监测泄放支路微小旁路渗漏，在异常扩散前捕捉隐患；内置光学阀位传感，反馈阀门实际启闭状态。入口支持现场切换 1/4 英寸或 3/8 英寸 Flare 接头，便于现场改造安装，减少备品种类。安装方式为水平布置，泄放口朝上。

工作过程可通过工艺惰性气体吹扫，在虹吸风险发生时，阻隔工艺介质反向回流，避免污染大宗供料系统。适用于晶圆制造、实验室及化工厂高纯流体管路，针对有毒、危险工艺液体提供回流防护，保障化学品输送回路安全稳定运行。

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