原装到货 MALEMA MIID-1000 三联组合套件
原装到货 MALEMA MIID-1000 三联组合套件原装到货 MALEMA MIID-1000 三联组合套件MIID-1000 三联套件由三套联锁本体集成，可实现两路大宗物料气源的气动切换，并且在分配间隙对排浆管路进行吹扫，多用于复杂的晶圆化学品分配工艺。单元本体接液部分为高纯 PFA 与改性 PTFE，适配高纯化学品、超纯水介质。阀门 Cv=0.8，阀组件可承受高频启闭循环。介质压力 0~8
原装到货 MALEMA MIID-1000 三联组合套件
原装到货 MALEMA MIID-1000 三联组合套件
MIID-1000 三联套件由三套联锁本体集成，可实现两路大宗物料气源的气动切换，并且在分配间隙对排浆管路进行吹扫，多用于复杂的晶圆化学品分配工艺。单元本体接液部分为高纯 PFA 与改性 PTFE，适配高纯化学品、超纯水介质。
阀门 Cv=0.8，阀组件可承受高频启闭循环。介质压力 0~80PSIG，气动驱动压力 60~120PSIG，介质温度区间 - 17.7℃至 130℃，环境温度 - 17.7℃~65.5℃。套件整体尺寸适配机柜安装，各单元泄放通道独立监测，可识别微小旁路泄漏。光学传感器实时采集阀门位置信号，向上位系统反馈阀状态。
入口端口可现场选配 1/4 英寸或 3/8 英寸 Flare 接口，便于旧产线改造。整套阀组联动控制，当管路出现压力波动，阀组协同动作，阻断介质回流，同时引入惰性气体吹扫管路，防止工艺液体虹吸倒流污染原料罐。
适用于半导体晶圆厂批量化学品输送系统，可处理各类工艺液体，在压力扰动、工况异常时保护上游供料系统。集成化设计节省安装空间，内置监测功能便于提前识别渗漏隐患，降低工艺污染风险，是高纯流体工艺安全联锁的成套部件。
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