池田屋原厂供应 IKC入江工研 真空柔性管 VF 1100

池田屋原厂供应 IKC入江工研 真空柔性管 VF 1100

池田屋原厂供应 IKC入江工研 真空柔性管 VF 1100

NW100 口径属于超大口径真空管路规格，日本 IKC（入江工研）的 VF 1100 两端配置 ISO-KF100 快拆法兰，螺旋波纹不锈钢结构，适用于大型镀膜设备、半导体主管路及科研真空腔体的柔性连接。内径约 103mm，外径约 127mm，法兰外径 134mm，标准长度覆盖 500 至 2000mm。材质为 SUS304，He 泄漏量 1×10⁻⁷ Pa·m³/s 以下，支持 250℃ 烘烤除气，适用于内部真空、外部大气压工况。

结构与选型要点

VF 标准款以静态弯曲和小位移补偿为主，可有效阻隔大型泵组的振动向腔体传递。NW100 通径的流导能力显著，适合大抽速干泵或罗茨泵的前级管路，安装时需配置足够的支撑结构以承载管路自重。该型号的波纹管段采用螺旋成型工艺，在轴向压缩与横向位移工况下可提供一定的柔性补偿，但不宜用于频繁弯折的动态场景。KF100 法兰的卡箍与中心环需按标准件选配，O 型圈材质应根据工艺气体选择丁腈或氟橡胶。由于管径较大，抽气时波纹管内外压差产生的轴向力不容忽视，建议在管路设计中加入固定支撑点或限位结构，防止波纹管因压差作用发生过度伸长或失稳。若管路存在较大振动或频繁拆装需求，可评估同口径 VFP 1100 加强款。

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优势品牌

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