池田屋现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-10MB

池田屋现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-10MB

池田屋现货 PILLAR CMP工艺用研磨液用泵 PC-10MB

PILLAR PC 系列是专为 CMP（化学机械抛光）工艺研磨液输送设计的浆料泵。PC-10MB 为该系列中最大吐出量 12L/min 的规格，接液部为 PFA、PTFE，使用液温度 10～100℃，供给空气压力 0.2～0.5MPaG。PC 系列的流道经过专门设计，旨在使液体无滞留地顺畅流动，减少泵内部的液体残留，从而抑制研磨液中颗粒的沉降与团聚。

结构与选型要点

PC 系列采用垂直风囊结构，接液部无轴封与旋转部件，避免了机械密封磨损产生的颗粒污染，这对于对颗粒物敏感的 CMP 工艺而言是重要的设计特征。该系列不仅适用于二氧化硅类研磨液，也可应对沉降速度较快的金属类研磨液。PC-10MB 的泵连接口径为 IN φ19/OUT φ12，重量约 10kg。选型时需确认研磨液类型是否在适用范围内（铜配线 CMP 用研磨液需另行咨询），并搭配 PA-C 系列自动脉压调节器以实现低脉动吐出。吸液侧配管长度建议控制在 2 米以内，以减少吸入阻力。

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