池田屋精品现货 PILLAR皮拉工业 风囊泵 PS-E2MA

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日本 PILLAR（皮拉）的 PS-E 系列属于 SPELA 300 风囊泵中的紧凑型中温款，接液部全部采用 PFA/PTFE 氟树脂，泵体集成蓄压功能，单机即可降低出液脉动，无需外加蓄压器。PS-E2MA 是该系列中排量 3.0L/min 的规格，适用于半导体湿法清洗、化学品供给设备及清洗装置的药液循环管路。

核心参数与选型要点

PS-E2MA 最大吐出量 3.0L/min，泵连接口径 IN φ10 / OUT φ6，接口为 Super 300 Type PILLAR Fitting。使用液温度 10～100℃（中温型），供气压力 0.2～0.4MPaG，单行程吐出量 0.03L，空气消费量 10～70 L/min（Normal）。脉动压力范围在吐出压力 0.1MPaG 以上时控制在 ±12.5% 以内，0.1MPaG 以下时为 0.03MPa 以内。接液部无金属接触药液，从原理上避免了离子析出风险。选型时需确认工艺温度是否在 10～100℃ 范围内，若涉及 160～180℃ 高温药液应评估 H 型；泵连接口径与接头种类需在订货时明确；供气压力需稳定在规格区间内，脉动抑制效果与供气条件相关。该系列不建议用于 CMP 研磨液浆料输送。

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优势品牌

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