池田屋正品供应 PILLAR 风囊泵 PS-E10H

池田屋正品供应 PILLAR 风囊泵 PS-E10H

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PILLAR PS-E10H 属于 PS-E 系列高温型风囊泵，接液部 PFA/PTFE，使用液温度覆盖 10～180℃，专为清洗装置高温药液循环管路设计，适用于半导体晶圆湿法清洗中的高温 SC1、SC2、稀 HF 或热 DIW 循环。

核心参数与选型要点

PS-E10H 最大吐出量 10L/min，使用液温度 10～180℃，供气压力 0.15～0.3MPaG（高温型规格低于中温型），单行程吐出量 0.1L。泵体集成蓄压功能，单机即可降低脉动，无需外接蓄压器。接液部无金属接触，满足半导体高洁净需求。选型时需注意，H 型与 MA 型的供气压力范围不同，气路配置需按高温型规格调整。高温工况下波纹管的耐疲劳寿命与温度直接相关，建议按制造商推荐温度区间运行，避免长期超温。若排量需求更大，同系列 PS-E20H、PS-E40H 分别对应 20L/min 与 40L/min。

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优势品牌

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