池田屋进口正品 PILLAR皮拉工业 风囊泵 PS-10MA

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日本 PILLAR（皮拉）的 PS 系列属于 SPELA 300 中温风囊泵，接液部全部采用 PFA/PTFE 氟树脂，泵体集成蓄压结构，单机即可实现较低的出液脉动，无需外加蓄压器。PS-10MA 为该系列中排量 12L/min 的规格，适用于半导体湿法清洗、药液供给管路及循环系统。

核心参数与选型要点

根据官方规格，PS-10MA 最大吐出量 12L/min，泵连接口径 IN φ19 / OUT φ12，接口采用 SUPER 300 TYPE 或 SUPER TYPE 专用接头。使用液温度分档覆盖 10～100℃（10～40℃、41～70℃、71～100℃三档），供气压力依温度档位在 0.2～0.5MPaG 之间，最大吐出压力 0.45MPaG（低温档），单行程吐出量 0.11L/stroke，重量约 10kg。该系列通过泵体一体化蓄能结构抑制脉动，吐出压力 0.1MPaG 以上时脉动控制在 ±12.5% 以内。选型时需注意吸入侧配管长度应控制在 2 米以内以保证性能，若介质为 CMP 研磨液，应改用 PC 系列专用泵。接口接头种类需在订货时明确。

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优势品牌

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