ULVAC WP‑01 皮拉尼真空规管|低真空测量领域主流传感器解析
ULVAC WP‑01 皮拉尼真空规管|低真空测量领域主流传感器解析
在半导体、锂电、真空热处理、镀膜设备的整套真空系统中,低真空区间压力监测直接决定工艺稳定性,ULVAC 爱发科 WP‑01 作为工业市场应用非常广泛的皮拉尼真空计探头,大量配套于各类国产及进口真空设备,是设备维护、备件替换高频选用型号。
产品工作原理
WP‑01 属于热传导式皮拉尼真空传感器,内部采用铂 Pt 材质灯丝,通电加热灯丝,依靠真空腔体内气体分子带走灯丝热量的变化,换算出实时真空压力数值。铂灯丝抗大气冲击性能优异,设备意外破真空时,灯丝不易直接烧毁,有效延长探头使用寿命,降低现场运维成本。
核心技术参数
测量范围:0.4Pa‑2700Pa,覆盖粗抽至低真空区间
测量精度:±15%(51‑760Pa);±30%(10‑1000Pa);±50%(0.4‑3000Pa)
安装接口:Φ18mm 标准规管接口,拆装更换便捷
标配线缆:5m
探头重量:约 0.035kg
适配控制器:GP‑1000G、GP‑1G、GP‑1GRY、SP1 等 ULVAC 系列真空显示控制单元
主要产品优势
抗冲击耐用灯丝:铂丝传感元件,耐受突发大气冲击,减少备件更换频次,适合工厂 24 小时连续生产工况。
通用性强:分体式探头设计,和多款爱发科真空主机匹配,老设备备件替换兼容性高。
响应速度快:对真空压力变化反应灵敏,满足抽真空过程实时监控需求。
安装维护简单:标准 Φ18 接口,现场快速拆装,无需复杂改造设备管路。
行业应用场景
半导体与电子制造:等离子清洗、刻蚀、去胶设备粗抽阶段真空监控,保障工艺起始条件稳定。
锂电新能源行业:电极干燥、真空注液工序低真空监测,保障电池生产工艺一致性。
真空热处理、烧结炉、渗碳炉:炉体低真空段压力检测,避免工件高温氧化。
真空镀膜、冻干设备、理化实验仪器:科研院所、实验室真空腔体压力采集。
注意:WP‑01 适用于洁净无腐蚀性气体环境;长期接触强腐蚀气体,会造成探头性能漂移,建议定期校验或更换。
采购与备件说明
WP‑01 为日本原装进口真空规管,属于消耗类传感器,长期使用灯丝会老化,出现读数漂移需要及时更换。 有选型、现货货期、技术对接需求,可联系池田屋商社周小姐,提供型号确认、参数核对、原装备件供货咨询服务。