池田屋代理支持 大塚电子 OPTM-A1 显微分光膜厚仪

在半导体晶圆、光学薄膜或 DLC 涂层的研发与质检中，膜厚往往需要在微小图案、曲面或复杂形状的特定点上测量，而不是找一个平坦的大区域取平均值。大塚电子（Otsuka Electronics）的 OPTM-A1 是 OPTM 系列显微分光膜厚仪中的自动 XY 平台型号，池田屋在售。它的定位很直接：用显微光学系统把测量光斑缩到 φ5μm 级别，在 1 秒内完成单点绝对反射率测量，再通过解析算出膜厚和光学常数，适合需要“任意位置、任意点”精准取数的场景。

OPTM-A1 的膜厚测量范围覆盖 1nm 至 35μm（SiO₂ 换算），波长范围 230～800nm，单点测量时间在 1 秒以内。这个下限 1nm 意味着它不只是测常规微米级薄膜，极薄膜（如超薄氧化层或功能性涂层）也能进入量程。光斑尺寸可选 φ5、φ10、φ20、φ40μm，对应不同倍率的物镜，测量时可以在监视器上确认位置后再采集，避免在图案边缘或缺陷点上误测。样品最大尺寸 200×200×17mm，自动 XY 平台版本可以按预设序列做多点扫描，适合晶圆面内分布评估。

OPTM 系列的核心能力不止于“测厚度”。它同时输出绝对反射率和光学常数（n 折射率、k 消光系数）。对于不知道材料光学常数的用户，软件内置的解析向导可以用多个不同厚度的样品做多点解析，反推出 nk 值，再用于后续膜厚计算，不需要先送样做椭偏测量。对于透明基板（如玻璃），OPTM 使用物镜物理去除背面反射，避免基板内部反射干扰，这是它在同类设备中比较实用的一个专利设计。

物理规格上，OPTM-A1 自动 XY 平台型尺寸 556W×566D×618H mm，重量约 66kg，功耗 500VA。同系列还有固定框架型（368×468×491mm，38kg）和嵌入头型（210×441×474mm，23kg），如果产线集成需要把测量头装进设备内部，嵌入头型更合适，但自动 XY 扫描能力会相应缩减。

选型时需要注意，OPTM-A1 的波长范围是 230–800nm，如果被测材料在近红外有特征吸收（如某些 SiC 或化合物半导体结构），同系列的 OPTM-A3 覆盖 900–1600nm 波段，膜厚范围 16nm–92μm，是更匹配的选择。如果只需要常规薄膜的快速抽检、不需要显微级光斑，FE-3000（1nm–1mm，最小 φ3μm）或手持式 SM-100 系列在成本和体积上更有优势。池田屋渠道的 OPTM-A1 实际成交价需询价确认，建议明确是否需要自动 XY 平台、物镜倍率组合以及是否含校准标准片。

大塚电子 OPTM-A1 产品购买请咨询池田屋涂工-176O75549O8，原装正品，现货秒发。

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