池田屋正品供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C20MB

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池田屋正品供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C20MB

PILLAR PA-C20MB 是与 PC-20MB 研磨液泵配套的自动脉压调节器，接液部 PFA、PTFE，适用泵系列 PE/PK，液体温度 10～180℃，供给空气压力 0.2～0.5MPaG。该型号对应 24L/min 排量的 PC-20MB，通过自动气压调节吸收泵排出侧的脉动，使出口压力稳定在设定范围内。

结构与选型要点

对于 CMP 工艺而言，供液压力的稳定性直接影响抛光速率与晶圆表面质量，因此 PA-C 系列调节器通常与 PC 系列泵成对选型。PA-C20MB 的脉动压力控制指标与 PA-C10MB 相同：吐出压力 0.1MPaG 以上时 ±12.5% 以内，以下时 0.04MPa 以内。选型时需确认调节器的接口口径与 PC-20MB 的排出侧管路匹配，并按照说明书要求设置供气压力。PA-C 系列调节器与 PC 系列泵为配套设计，不建议跨排量混用。安装位置应便于日常检查与气压调整，管路连接处需确认密封方式与材质兼容性。

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