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池田屋商社供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C40MB

池田屋商社供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C40MB池田屋商社供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C40MBPILLAR PA-C40MB 是 PC-40MB 研磨液泵的配套自动脉压调节器,接液部 PFA、PTFE,液体温度 10~180℃,供给空气压力 0.2~0.5MPaG。该型号对应 48L/min 排量的 PC-40MB,用于大流量 CMP 供液系统的脉动抑制。结构与选型要

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池田屋商社供应 PILLAR 自动脉压调节器 PA-C40MB

PILLAR PA-C40MB 是 PC-40MB 研磨液泵的配套自动脉压调节器,接液部 PFA、PTFE,液体温度 10~180℃,供给空气压力 0.2~0.5MPaG。该型号对应 48L/min 排量的 PC-40MB,用于大流量 CMP 供液系统的脉动抑制。

结构与选型要点

PA-C 系列通过自动调节气压来吸收风囊泵往复动作产生的流量波动,使出口压力稳定,对于大排量泵而言,脉动抑制的必要性更为突出,因为流量波动会直接传导至抛光界面。选型时需确认调节器的接口口径与 PC-40MB 的排出侧管路匹配,并按照说明书要求设置供气压力。PA-C 系列调节器与 PC 系列泵为配套设计,不建议跨排量混用。大排量系统的管路容积与调节器的响应时间存在关联,安装位置应尽量靠近泵的排出侧,以缩短压力波动的传播路径。日常维护中需检查气压设定值与密封状态。

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