池田屋商社！！EBARA荏原 ESR 系列中型真空泵 ESR80W
池田屋商社！！EBARA荏原 ESR 系列中型真空泵 ESR80W
池田屋商社！！EBARA荏原 ESR 系列中型真空泵 ESR80W
描述
选项：
NiResist 铸造材料具有卓越的耐腐蚀性能
备用排气热配置（取决于工艺）
关于工具配置模型
抗静电能力
空闲模式（绿色能源模式）
硬件：抗震支架
泵系统——集成机架解决方案
泵安装升降机
可重复使用的运输箱
特征
无油
低能耗：高性能无刷直流电机
紧凑/轻便，占地面积小
根据工艺应用配置各种泵
低拥有成本 [电力、氮气、水、占地面积、体积、重量]
无论频率如何 (50/60hz)，泵送性能均相同
ESR20N 在清洁应用中无需氮气吹扫
可变抽速以满足应用要求
先进的控制和监控设备
增强的耐腐蚀性能：NiResist镍合金结构材料
SEMI S2、CE 和 NRTL
应用
灰化
化学气相沉积（CVD）
清洁气体工艺
蚀刻
离子注入
负载锁和转移
物理气相沉积（PVD）
扫描电子显微镜
溅射
Specifications - Model ESR80W
Model | ESR | ESR | ESR | ESR | ESR | ESR | ESR | ||||
20N | 30/N | 80WN | 100WN | 200WN | 300WN | 500WN | |||||
Pumping Speed | L/min | 1,300～ | 3000 | 4,000～ | 4,000～ | 10,000～ | 30,000 | 46,000 | |||
2,000 | 8,500 | 10,000 | 20,000 | ||||||||
Ultimate Pressure | Pa | 2 | 0.53-0.67 | 0.2-0.5 | 0.2 | 0.5-0.13 | 0.2 | 0.2 | |||
Connection | Gas Inlet | NW40 | NW50 | NW100 | ISO160 | ||||||
Gas Outlet | NW40 | ||||||||||
Approx.Power at Ultimate Pressure | kW | 0.7 | 1.7 | 1 | 1.1 | 2.9 | 3.1 | ||||
Utility | Cooling | Flow rate | L/min | 2～8 | 3.5～8 | 2～8 | 2～5 | 3.5～8 | |||
Water | Temperature | ℃ | Max. 30 | ||||||||
N2 Gas | Approx. Flow rate | Pa•m3/s | 19～22 | 19～22 | 17～22 | 17～22 | 19～22 | ||||
N2-0 Mode | 0 | -3.4 | -3.4 | -4 | -3.4 | ||||||
Power Supply | Phase/Volt/Freq. | 200V Model | 3Phase/200V/50Hz | ||||||||
3Phase/200-220V/60Hz | |||||||||||
400V Model | 3Phase/380-400V/50Hz | ||||||||||
3Phase/380-440V/60Hz | |||||||||||
Power capacity | kVA | 4 | 7 | 8 | 10.6 | 12.3 | |||||
Weight | kg | 90 | 190 | 170 | 180 | 250 | 390 | 500 | |||
