原厂全新！！EBARA荏原 轻型罗茨真空泵 EV-S20P
原厂全新！！EBARA荏原 轻型罗茨真空泵 EV-S20P
原厂全新！！EBARA荏原 轻型罗茨真空泵 EV-S20P
描述
选项：
N 2吹扫能力
硬件：抗震支架
泵系统——集成机架解决方案
泵安装升降机
可重复使用的运输箱
特征
无油
低能耗：高性能无刷直流电机
紧凑/轻便，占地面积小
根据工艺应用配置各种泵
低拥有成本 [电力、氮气、水、占地面积、体积、重量]
无论频率如何 (50/60hz)，泵送性能均相同
先进的警告和警报数据存储能力
通过可编程 LCD 控制器进行警告设置的实际功能
先进的传感功能减少产品停机时间
Semi S2、CE 和 NRTL
应用
计量设备
负载锁和转移
物理气相沉积（PVD）
扫描电子显微镜
光蚀刻
灰化
Specifications - Model EV-S20
Model | EV-S | EV-S | EV-S | EV-S | ||||
20/P/N | 50/P/N | 100/P/N | 200/P/N | |||||
Pumping Speed | L/min | 1,670 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | |||
Ultimate Pressure | Pa | 3.0-5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |||
Connection | Gas Inlet | NW50 | NW80 | NW100 | ||||
Gas Outlet | NW25 | NW40 | ||||||
Approx.Power at Ultimate Pressure | kW | 0.4 | 0.55 | 0.65 | 0.75 | |||
Utility | Cooling | Flow rate | L/min | 1.5～3.0 | 2.0～3.0 | |||
Water | Temperature | ℃ | Max. 30 | |||||
N2 Gas | Approx. Flow rate | Pa•m3/s | 17～20 | |||||
N2-0 Mode | -2.4 | |||||||
Power Supply | Phase/Volt/Freq. | 200V Model | 3Phase/200V/50Hz | |||||
3Phase/200-220V/60Hz | ||||||||
400V Model | 3Phase/380-400V/50Hz | |||||||
3Phase/380-440V/60Hz | ||||||||
Power capacity | kVA | 3.2 | 4.8 | 6.4 | 6.8 | |||
Weight | kg | 60 | 100 | 120 | 170 | |||
