EBARA荏原 紧凑/轻便型 干式真空泵 ESA70W
2025-07-18 18:08:28
admin
EBARA荏原 紧凑/轻便型 干式真空泵 ESA70W
EBARA荏原 紧凑/轻便型 干式真空泵 ESA70W
描述
选项：
三相、50/60 Hz、双电压 200VAC 和 400VAC 型号
XW 版本 – 双主泵，容量/性能提升 2 倍
有机溶剂的备用排气配置
空闲模式（绿色能源模式）
硬件：抗震支架
泵系统——集成机架解决方案
泵安装升降机
可重复使用的运输箱
特征
无油
低能耗：高性能无刷直流电机
紧凑/轻便，占地面积小
根据工艺应用配置各种泵
低拥有成本 [电力、氮气、水、占地面积、体积、重量]
低振动运行
先进的警告和警报数据存储能力
通过可编程 LCD 控制器进行警告设置的实际功能
大容量腔室快速抽气的理想设计
智能转子转速控制功能，实现灵活的气体吞吐量
可变抽速以满足应用要求
先进的控制和监控设备
SEMI S2、CE 和 NRTL
应用
化学气相沉积（CVD）
平板显示器（FPD）
高含量的轻质工艺气体
氢能应用
大容量腔室
液晶显示器（LCD）
金属有机化学气相沉积
薄膜应用
Specifications - Model ESA25
| Model | ESA | ESA | ESA | ESA | ESA | ESA | ESA | ESA | ||||
| 15 | 25/S | 70W/WN | 80W/WN | 100W/WN | 200W | 300W | 500W | |||||
| Pumping Speed | L/min | 1,400 | 2,500 | 7,000 | 8,400 | 10,000 | 20,000 | 28,000 | 47,000 | |||
| (50Hz) | (50Hz) | (50Hz) | (50Hz) | (50Hz) | ||||||||
| 1,700 | 3,000 | 8,400 | 30,000 | 50,000 | ||||||||
| (60Hz) | (60Hz) | (60Hz) | (60Hz) | (60Hz) | ||||||||
| Ultimate Pressure | Pa | 400 | 5.3 | 0.27-0.4 | 0.13-0.27 | 0.13-0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | |||
| (50Hz) | (50Hz) | (50Hz) | ||||||||||
| 270 | 4 | 0.13-0.27 | ||||||||||
| 60Hz) | (60Hz) | (60Hz) | ||||||||||
| Connection | Gas Inlet | NW40 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ||||||
| Gas Outlet | NW40 | |||||||||||
| Approx.Power at Ultimate Pressure | kW | 2.9KW/ | 2.6KW/ | 3.6KW/ | 4.2 | 4.9 | 3.2kW/ | 6.6kW/ | 5.1kW/ | |||
| 50Hz | 50Hz | 50Hz | 50Hz | 50Hz | 50Hz | |||||||
| 3.2kW/ | 2.9kW | 4.0kW/ | 3.4kW | 7.3kW/ | 6.7kW | |||||||
| 60Hz | /60Hz | 60Hz | /60Hz | 60Hz | /60Hz | |||||||
| Utility | Cooling | Flow rate | L/min | 3.5～8 | 6～9 | |||||||
| Water | Temperature | ℃ | Max. 30 | |||||||||
| N2 Gas | Approx. | Pa•m3/s | 14～17 | 17～20 | 24～27 | 54～57 | 54～57 | 17～20 | 7.5～ | 8.5～11 | ||
| Flow rate | -4.6 | -3.8 | -4.7 | -3.8 | 10.5 | |||||||
| N2-0 Mode | ||||||||||||
| Power Supply | Phase/ | 200V Model | 3Phase/200V/50Hz | |||||||||
| Volt/ | 3Phase/200-220V/60Hz | |||||||||||
| Freq. | 400V Model | 3Phase/380-400V/50Hz | – | 3Phase/380-400V/50Hz | ||||||||
| 3Phase/380-440V/60Hz | 3Phase/380-440V/60Hz | |||||||||||
| 400V Model | – | 3Phase/ 440V/ 50Hz | ||||||||||
| 3Phase/ 440-480V/ 60Hz | ||||||||||||
| Power capacity | kVA | 6.4 | 10.3 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | |||||
| Weight | kg | 240 | 380 | 400 | 410 | 700 | 750 | |||||
