FLUORO 福乐 C003‑D‑Y‑161 常开防静电真空吸笔｜半导体晶圆无尘手动搬运工具解析
FLUORO 福乐 C003‑D‑Y‑161 常开防静电真空吸笔｜半导体晶圆无尘手动搬运工具解析
FLUORO 福乐 C003‑D‑Y‑161 属于 C 系列常开型真空吸笔完整总成，多用于半导体、光电行业晶圆、基板、大尺寸芯片无尘取放，可直接对接 FV‑10‑240 真空泵使用，是探针台、划片、贴膜、封装工序常用手动搬运工具。
核心技术参数
完整型号：C003‑D‑Y‑161
阀体基础型号：C003（NO 常开阀体）
D：D 型本体，大流量阀体，吸力大于 C002，适合面积偏大工件
Y：直插固定接头，不可旋转
161：延长杆总长 161mm
阀门逻辑：常开 NO，通气保持吸附；按下按钮断气释放工件
笔身材质：碳纤维增强导电尼龙，表面电阻 10⁶‑10⁸Ω，全域 ESD 防静电
内部阀芯：PTFE 氟树脂密封，低析出颗粒，适配洁净室
工作负压：0~‑80kPa，适配 FV‑10‑240 等 FLUORO 真空泵
适配软管：Φ3×Φ5、Φ4×Φ6 真空软管
吸嘴接口：前端可换装各类标准吸嘴（26‑0.5、各类晶圆吸盘等）
使用环境：Class100‑1000 洁净室，干式工况，不适用药液浸泡湿法环境
产品核心优势
C003 大流量阀体，吸力更强对比 C002，C003 阀体通径更大，真空流量更高，适合硅片、基板、大尺寸薄片工件，避免大面积工件吸附打滑脱落。
161mm 加长杆设计161mm 长杆，可深入腔体、载具、治具内部作业，不用拆解设备，适合机台内部取放晶圆。
Y 直插固定接头管路直进直出，结构稳固，适合操作姿态相对固定的工位；对比 X 万向接头，无旋转间隙，负压损耗更小。
全域防静电防护笔身、气路通路整体导电，可释放静电，保护硅片、芯片、光刻胶器件不被静电击穿，满足半导体车间 ESD 管控。
模块化可替换配件前端吸嘴为独立消耗件，可按需更换微型尖头、晶圆吸盘；杆体、接头均可单独采购，局部损坏不用更换整套吸笔，降低使用成本。
典型应用场景
半导体制造：2‑6 英寸硅晶圆，探针检测、划片、贴膜、解键合、封装转运
化合物半导体：碳化硅、氮化镓晶片基板取放
光电行业：光学基板、滤光片、大尺寸光学元件搬运
**Mini‑LED 面板、薄型陶瓷基板手动拾取
无尘实验室，机台腔体内部样品操作
使用提示：仅干式使用；不可接触酸碱药液；定期检查吸嘴磨损与管路有无弯折漏气；配套 FV‑10‑240 真空泵使用，可根据工件厚薄调节负压，防止压伤薄工件。
成套推荐搭配
动力源：FV‑10‑240 无油真空泵 吸笔总成：C003‑D‑Y‑161 可选吸嘴：26‑0.5 微型尖头 / 晶圆专用吸盘
采购与备件说明
C003‑D‑Y‑161 为日本原装完整总成，吸嘴、软管、过滤棉等消耗配件支持单独订货。 有型号确认、吸嘴选配、整套方案、货期查询需求，可联系池田屋商社周小姐，提供参数核对、原装工具配件供货咨询服务。
