池田屋精品现货爱发科ULVAC WP-01皮拉尼真空规管新品

摘要： 在半导体、FPD及各类工业真空设备中，低真空区域的精确测量与控制直接关系到工艺稳定性与产品质量。池田屋近期推出的日本爱发科（ULVAC）WP-01型皮拉尼真空规管，采用定温型热传导测量原理与铂金灯丝设计，测量范围覆盖0.4Pa至3000Pa，具备优异的抗大气冲击能力与长期稳定性，为真空干燥、真空炉及电子器件制造等领域的低真空测量提供了高可靠性的传感器解决方案。

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池田屋近期推出日本爱发科ULVAC WP-01皮拉尼真空规管新品。在半导体制造、FPD生产及各类工业真空设备中，低真空区域的精确测量与控制直接关系到工艺稳定性与产品质量。传统皮拉尼规管在遭遇大气突入时灯丝易烧断，且不同气体种类对测量精度的影响需要修正。为满足国内真空应用领域对高可靠性低真空测量的需求，池田屋近期宣布，正式推出日本爱发科（ULVAC）WP-01型皮拉尼真空规管新品。

ULVAC（爱发科）是一家源自日本的真空技术专业制造商，在真空获得与测量领域拥有数十年技术积累。WP-01型皮拉尼规管是ULVAC G-TRAN系列皮拉尼真空计的标准传感器头，属于定温型热传导真空计，利用气体热传导随压力变化的原理进行测量。该规管测量范围为0.4Pa至3000Pa（0.4～2700Pa），可覆盖从大气压到低真空的宽泛区域。灯丝材质采用高耐久性铂金（Pt），在大气突入等异常工况下不易烧断，具备良好的抗冲击能力与长期稳定性。规管安装接口为φ18mm规管端口，兼容ULVAC GP-1S、GP-1SRY、GP-2A、GP-1000G等系列皮拉尼真空计主机，以及G-TRAN系列SP1传感器单元。

在精度与适配性方面，WP-01型皮拉尼规管在51～760Pa范围内精度为±15%，在0.4～3000Pa全量程范围内精度为±50%。该规管对各类气体均有响应，但在测量不同气体种类时需根据气体热导率差异进行修正。规管工作环境温度为10～40℃，湿度15～80%RH（无结露）。针对易受化学活性气体或高吸附性气体影响的工况，建议在通电状态下以氮气或惰性气体进行冲洗操作，以恢复规管特性。该规管结构设计紧凑，传感器单元与探头集成可节省布线空间与功耗，有效保障了系统运行的运行稳定性与合规性要求。

在应用场景方面，WP-01型皮拉尼真空规管广泛适用于太阳能电池、FPD、半导体及电子元件制造设备的低真空区域过程控制；真空干燥、真空炉、热处理等工业设备的低真空监测；真空包装、真空成型及排气装置的粗真空监控；以及实验室真空系统的压力测量。该规管可与ULVAC GP-1000G型皮拉尼真空计主机配套使用，形成完整的低真空测量系统。池田屋表示，ULVAC作为真空技术领域的专业制造商，其WP-01型皮拉尼规管在设计之初便充分考量了工业真空应用对低真空测量可靠性与耐久性的实际需求。未来，池田屋将持续携手ULVAC爱发科，深耕真空测量技术领域，为国内真空应用与设备制造行业提供可靠的真空测量核心部件支持。