池田屋供应全新！！EBARA荏原 节能真空泵 EV-M20N
池田屋供应全新！！EBARA荏原 节能真空泵 EV-M20N
池田屋供应全新！！EBARA荏原 节能真空泵 EV-M20N
描述
选项：
各种增压器和排气热配置（取决于工艺）
抗静电能力
空闲模式（绿色能源模式）
硬件：抗震支架
泵系统——集成机架解决方案
泵安装升降机
可重复使用的运输箱
特征
无油
低能耗：高性能无刷直流电机
紧凑/轻便，占地面积小
根据工艺应用配置各种泵
低拥有成本 [电力、氮气、水、占地面积、体积、重量]
环保型高扭矩电机
高温运行控制
先进的警告和警报数据存储能力
先进的传感功能减少产品停机时间
无论频率如何 (50/60 Hz)，泵送性能均相同
高热性能和抗镍结构材料
应用
原子层沉积（ALD）
化学气相沉积 (CVD) 工艺，包括 LPCVD、HDP-CVD、SACVD 和 PE-CVD
蚀刻工艺包括氮化物和氧化物
快速热处理（RTP）
TEOS工艺
Specifications - Model EV-M20N
Model | EV-M | EV-M | EV-M | EV-M | EV-M | EV-M | ||||
20N | 102N | 202N | 302N | 502N | 802N | |||||
Pumping Speed | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |||
Ultimate Pressure | Pa | 5 | 0.5 | |||||||
Connection | Gas Inlet | NW40 | ISO100 | ISO160 | ISO200 | |||||
Gas Outlet | NW40 | |||||||||
Approx.Power at Ultimate Pressure | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 2.8 | |||
Utility | Cooling | Flow rate | L/min | 3～8 | 3.5～8 | 4～8 | 5～8 | |||
Water | Temperature | ℃ | Max. 30 | |||||||
N2 Gas | Approx. Flow rate | Pa•m3/s | 26～31 | 28～33 | ||||||
Power Supply | Phase/Volt/Freq. | 200V Model | 3Phase/200V/50Hz | |||||||
3Phase/200-220V/60Hz | ||||||||||
400V Model | 3Phase/380-400V/50Hz | |||||||||
3Phase/380-440V/60Hzz | ||||||||||
460V Model | 3Phase/440-460V/50Hz | |||||||||
3Phase/440-480V/60Hz | ||||||||||
Power capacity | kVA | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 8.3 | |||
Weight | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 740 | |||
