全新！！EBARA荏原 中型工艺干式真空泵 EV-X
2025-07-18 17:51:03
admin
全新！！EBARA荏原 中型工艺干式真空泵 EV-X
全新！！EBARA荏原 中型工艺干式真空泵 EV-X
描述
小型、节能，一台设备即可覆盖多种工艺。
特征
这款干式真空泵适用于中型工艺流程，搭载荏原独有的节能技术，采用模块化设计，优化了自动化工厂的生产工艺，进一步实现了小型化和节能化。其宽温控能力使其能够扩展应用工艺流程。
同一机型可覆盖多个工序，因此可优化备用机库存，减少维护和培训，并可灵活地扩展未来工序。此外，通过对各工序进行最佳温度控制，可提高工序耐受性，并通过延长零件更换周期来降低总成本（TCoO）。
应用包括各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延等。
