神津精机 YA16F-L23301 自动XY平台
神津精机 YA16F-L23301 自动XY平台神津精机 YA16F-L23301 自动XY平台产品概述：YA16F-L23301是神津精机（Kohzu Precision）蒙布朗（Mont Blanc）系列中的一款大型高精度自动XY平台，采用钢材主体与滚珠丝杠进给机构，实现高刚性和精确定位。上下轴各±152mm的长行程设计，适用于大型测量仪器、光学设备、半导体制造等需要大范围XY二维高精度定位的
神津精机 YA16F-L23301 自动XY平台
神津精机 YA16F-L23301 自动XY平台
产品概述：
YA16F-L23301是神津精机（Kohzu Precision）蒙布朗（Mont Blanc）系列中的一款大型高精度自动XY平台，采用钢材主体与滚珠丝杠进给机构，实现高刚性和精确定位。上下轴各±152mm的长行程设计，适用于大型测量仪器、光学设备、半导体制造等需要大范围XY二维高精度定位的应用场景。
核心规格参数：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | YA16F-L23301 |
| 反向型号 | YA16F-L23301-RRR |
| 工作台面 | 160mm × 160mm |
| 导轨方式 | 精密直线导轨 |
| 移动范围（上轴/下轴） | 各±152mm（总行程304mm） |
| 进给方式 | 滚珠丝杠，导程5.0mm |
| 分辨率（整步/半步） | 10μm / 5μm |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.5μm |
| 最高速度 | 50mm/s |
| 累计定位误差 | ≤20μm/304mm（上轴/下轴各轴） |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 背隙 | ≤5μm |
| 水平直线度 | ≤5μm/304mm（上轴/下轴各轴） |
| 垂直直线度 | ≤5μm/304mm（上轴/下轴各轴） |
| 回差 | ≤2μm |
| 弯曲刚度 | 0.04 arcsec/N·cm |
| 水平承载能力 | 205N（21kgf） |
| 正交性 | ≤10μm |
| 主体材质 | 钢材（工作台面：铝合金） |
| 外观 | 黑色表面处理 |
| 重量 | 36.4kg |
电气规格：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 光电传感器基板 | F-104（限位），F-105（原点） |
| 电机轴直径 | Φ8mm，可选手柄：B型 |
| 电机类型 | 5相步进电机（东方马达 C087Q-9215P） |
| 额定电流 | 0.75A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 圆形20针（广濑：RP13A-12RA-20PC） |
选配规格：
| 选项 | 型号后缀 | 说明 | 费用（日元） |
|---|---|---|---|
| 2相步进电机 | -BM | 电机更换为东方马达PK264JDB，连接器变更为方形20针 | ¥80,000 |
| 洁净润滑脂 | -C | 适用于洁净室环境 | ¥120,000 |
| 真空润滑脂 | -V | 适用于真空环境 | ¥120,000 |
维修与更换费用参考：
| 项目 | 费用（日元） |
|---|---|
| 大修 | ¥198,000起 |
| 同形电机更换 | ¥30,000起 |
| 异形电机更换 | ¥80,000起 |
核心设计特征：
一、超长行程设计
上下轴各±152mm（总行程304mm）
适用于大范围XY定位需求
满足大型工件或大面积扫描测量需求
二、高刚性结构
主体采用钢材，进给机构采用滚珠丝杠
实现高刚性和精确定位
弯曲刚度0.04 arcsec/N·cm
三、高精度定位
重复定位精度≤±0.5μm
微步进分辨率0.5μm
累计定位误差≤20μm/304mm（各轴）
正交性≤10μm
四、高精度保证
单轴的累计导程误差和直线度精度均有保证
水平直线度≤5μm/304mm
垂直直线度≤5μm/304mm
5相步进电机与2相步进电机规格对比：
| 项目 | 5相电机（标准） | 2相电机（可选-BM） |
|---|---|---|
| 电机型号 | 东方马达 C087Q-9215P | 东方马达 PK264JDB |
| 额定电流 | 0.75A/相 | — |
| 基本步距角 | 0.72° | — |
| 连接器 | 圆形20针 | 方形20针（广濑 PC-1620） |
| 附加费用 | — | ¥80,000 |
兼容控制器与电缆：
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 推荐控制器 | KOSMOS系列 |
| 电缆 | 需使用5芯电机电缆 |
| 控制器设置 | SYS No.2需设置为"2"（区域传感器原点复归方式） |
典型应用场景：
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 大型测量仪器 | 大范围高精度XY位移测量 |
| 光学设备 | 大型光学元件的二维定位 |
| 半导体制造 | 大尺寸晶圆的检测与定位 |
| 液晶面板制造 | 液晶面板生产和检测设备 |
| 同步辐射实验 | 大范围样品扫描定位 |
综合价值：
神津精机YA16F-L23301自动XY平台通过超长行程（各轴±152mm）、钢材主体与滚珠丝杠的高刚性组合（重复定位精度±0.5μm）、高精度保证（累计误差≤20μm/304mm）及高承载能力（205N），为大型测量仪器、光学设备、半导体制造等需要大范围XY二维高精度定位的应用场景提供了理想的解决方案。
