神津精机 CYAT-070 自动XY平台
神津精机 CYAT-070 自动XY平台神津精机 CYAT-070 自动XY平台产品概述:CYAT-070是神津精机(Kohzu Precision)推出的一款超薄型自动XY平台,机身厚度仅30mm,采用线性导轨和滚珠丝杠(导程1.0mm),实现高精度的XY二维定位。该平台专为薄型对准应用设计,适用于精密薄片对准、光学元件定位等对高度有严格限制的场景。核心规格参数:项目规格型号CYAT-070工作
神津精机 CYAT-070 自动XY平台神津精机 CYAT-070 自动XY平台产品概述:CYAT-070是神津精机(Kohzu Precision)推出的一款超薄型自动XY平台,机身厚度仅30mm,采用线性导轨和滚珠丝杠(导程1.0mm),实现高精度的XY二维定位。该平台专为薄型对准应用设计,适用于精密薄片对准、光学元件定位等对高度有严格限制的场景。核心规格参数:项目规格型号CYAT-070工作
CYAT-070是神津精机(Kohzu Precision)推出的一款超薄型自动XY平台,机身厚度仅30mm,采用线性导轨和滚珠丝杠(导程1.0mm),实现高精度的XY二维定位。该平台专为薄型对准应用设计,适用于精密薄片对准、光学元件定位等对高度有严格限制的场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | CYAT-070 |
| 工作台面 | 80mm × 80mm |
| 导轨方式 | 线性导轨 |
| 移动范围 | ±15mm(各轴,总行程30mm) |
| 进给方式 | 滚珠丝杠,导程1.0mm |
| 分辨率(整步/半步) | 1μm / 0.5μm |
| 分辨率(微步进1/20格) | 0.05μm |
| 最高速度 | 5mm/s |
| 累计定位误差 | ≤15μm / 30mm |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 背隙 | ≤2μm |
| 水平直线度 | ≤3μm / 30mm |
| 垂直直线度 | ≤3μm / 30mm |
| 回差 | ≤1μm |
| 弯曲刚度 | 0.3 arcsec/N·cm |
| 水平承载能力 | 98N(10kgf) |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 外观 | 白色表面处理 |
| 机身厚度 | 30mm |
| 重量 | 1.7kg |
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 光电传感器基板 | F-115(原点/限位一体) |
| 电机类型 | 5相步进电机(东方马达 PK523HPMB-C4) |
| 额定电流 | 0.75A/相 |
| 基本步距角 | 0.36° |
| 连接器 | 圆形20针(广濑:RP13A-12JG-20PC) |
一、超薄型设计
机身厚度仅30mm
适用于高度受限的安装环境
便于集成到薄型设备中
二、高精度XY定位
重复定位精度≤±0.5μm
微步进分辨率0.05μm
累计定位误差≤15μm/30mm
三、高刚性线性导轨
采用线性导轨,确保运动平滑性
水平直线度≤3μm/30mm
垂直直线度≤3μm/30mm
四、紧凑轻量化
主体采用铝合金
重量仅1.7kg
台面尺寸80mm×80mm
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 推荐控制器 | KOSMOS系列 |
| 电缆 | 需确认兼容性 |
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 精密薄片对准 | 薄膜、薄板等材料的精密XY定位 |
| 光学元件定位 | 小型透镜、棱镜等光学元件的二维调整 |
| 半导体制造 | 晶圆检测工序的XY定位 |
| 液晶制造 | 液晶面板生产和检测设备 |
| 显微镜系统 | 样品台的精密XY定位 |
神津精机CYAT-070自动XY平台通过超薄型设计(30mm机身厚度)、高精度定位(重复定位精度±0.5μm)、线性导轨高刚性结构及轻量化铝合金主体(1.7kg),为精密薄片对准、光学元件定位等对高度有严格限制的应用场景提供了理想的解决方案。
