神津精机 ZA16A-32F01 自动Z轴平台
产品概述:ZA16A-32F01是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高刚性自动Z轴平台,采用蜗轮蜗杆升降机构和四面扁平滚轮导轨,实现高刚性和高精度的垂直定位。该平台适用于各种测量仪器、加工机械等需要高精度Z轴直线运动的应用场景。核心规格参数:项目规格型号ZA16A-32F01工作台面160mm × 160mm导轨方式四面扁平滚轮移动范围±25mm(
产品概述:ZA16A-32F01是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高刚性自动Z轴平台,采用蜗轮蜗杆升降机构和四面扁平滚轮导轨,实现高刚性和高精度的垂直定位。该平台适用于各种测量仪器、加工机械等需要高精度Z轴直线运动的应用场景。核心规格参数:项目规格型号ZA16A-32F01工作台面160mm × 160mm导轨方式四面扁平滚轮移动范围±25mm(
ZA16A-32F01是神津精机(Kohzu Precision)蒙布朗(Mont Blanc)系列中的一款高刚性自动Z轴平台,采用蜗轮蜗杆升降机构和四面扁平滚轮导轨,实现高刚性和高精度的垂直定位。该平台适用于各种测量仪器、加工机械等需要高精度Z轴直线运动的应用场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | ZA16A-32F01 |
| 工作台面 | 160mm × 160mm |
| 导轨方式 | 四面扁平滚轮 |
| 移动范围 | ±25mm(总行程50mm) |
| 进给方式 | 1/40英寸蜗轮蜗杆 + 滚珠丝杠(导程4.0mm) |
| 分辨率(整步/半步) | 0.2μm / 0.1μm |
| 分辨率(微步进1/20格) | 0.01μm |
| 最高速度 | 1mm/s |
| 重复定位精度 | ≤±0.3μm(平均值±0.04μm) |
| 背隙 | ≤1μm(平均值0.28μm) |
| 垂直度 | ≤8μm/50mm(平均值3.08μm/50mm) |
| 水平承载能力 | 490N(50kgf) |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 外观 | 黑色表面处理 |
| 重量 | 14.5kg |
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 光电传感器基板 | F-101(原点/限位一体) |
| 电机轴直径 | Φ5mm,可选手柄:A型 |
| 电机类型 | 5相步进电机(东方马达 C090P-9015P) |
| 额定电流 | 0.75A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 广濑:RP13A-12RA-20PC |
| 选项 | 型号后缀 | 说明 | 费用(日元) |
|---|---|---|---|
| 2相步进电机 | -BM | 电机更换为东方马达PKP244D15B2(连接器不变) | 需咨询 |
| 洁净润滑脂 | -C | 适用于洁净室环境 | ¥64,000 |
| 真空润滑脂 | -V | 适用于真空环境 | ¥64,000 |
| 项目 | 费用(日元) |
|---|---|
| 大修 | ¥90,000起 |
| 同形电机更换 | ¥12,000起 |
| 异形电机更换 | ¥33,000起 |
一、高刚性结构设计
主体采用铝合金材质,驱动单元使用高刚性滚轮(四面扁平滚轮)
兼具高刚性和精确定位性能
弯曲刚度优异,适用于重载
二、蜗轮蜗杆高精度升降机构
1/40英寸蜗轮蜗杆 + 滚珠丝杠(导程4.0mm)
最小分辨率0.01μm(微步进1/20格)
重复定位精度≤±0.3μm
背隙≤1μm
三、高承载能力
水平承载能力490N(50kgf)
适用于重载垂直定位
四、高精度保证
垂直度≤8μm/50mm
适用于各种测量仪器和加工机械
| 项目 | 5相电机(标准) | 2相电机(可选-BM) |
|---|---|---|
| 电机型号 | 东方马达 C090P-9015P | 东方马达 PKP244D15B2 |
| 额定电流 | 0.75A/相 | — |
| 基本步距角 | 0.72° | — |
| 连接器 | 广濑 RP13A-12RA-20PC | 广濑 RP13A-12RA-20PC |
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 推荐控制器 | KOSMOS系列 |
| 电缆 | 需使用5芯电机电缆 |
| 控制器设置 | 需确认兼容性 |
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 精密测量仪器 | 高度方向的精密定位 |
| 加工机械 | Z轴进给控制 |
| 光学元件组装 | 大型光学元件的垂直定位 |
| 半导体制造 | 晶圆检测工序的Z轴定位 |
| 液晶制造 | 液晶面板生产和检测设备 |
神津精机ZA16A-32F01自动Z轴平台通过蜗轮蜗杆高精度升降机构(最小分辨率0.01μm)、四面扁平滚轮高刚性设计(承载490N)、铝合金主体(重量14.5kg)及高精度保证(重复定位精度±0.3μm),为精密测量仪器、加工机械、光学设备等需要高精度、高刚性Z轴直线运动的应用场景提供了理想的解决方案
