池田屋进口正品 IKC入江工研 真空柔性管 VF 2070

池田屋进口正品 IKC入江工研 真空柔性管 VF 2070

池田屋进口正品 IKC入江工研 真空柔性管 VF 2070

日本 IKC（入江工研）的 VF 2070 属于 CF 法兰型超高真空柔性管，两端配置 CF70 刀口密封法兰，一端固定、一端旋转。该型号采用金属刀口密封，He 泄漏量不超过 1×10⁻⁹ Pa·m³/s，适用于半导体超高真空工艺腔体、电子显微镜及分子泵机组的连接。内径约 38mm，外径约 50mm，法兰外径 69.3mm，标准长度覆盖 500 至 2000mm。材质为不锈钢，支持 250℃ 整体烘烤除气。

结构与选型要点

CF70 口径在超高真空系统中属于中等偏大规格，流导能力优于 CF34，适合分子泵入口或大型分析腔体的柔性过渡。VF 标准款以静态弯曲和小位移补偿为主，安装时需搭配铜密封垫圈，螺栓对角均匀锁紧以确保刀口密封效果。该型号的波纹管段在轴向压缩与横向位移工况下可提供一定的柔性补偿，但不宜用于频繁弯折的动态场景。CF 法兰的密封依赖刀口与铜垫圈的塑性变形，每次拆装通常需更换新垫圈，维护成本需纳入考量。对于分子泵入口连接，柔性管的位移补偿能力可吸收泵体振动，减少振动向腔体的传递。安装时需确保法兰端面清洁，刀口无划伤，管路支撑应独立于泵体，避免泵体重量或振动直接作用于波纹管段。

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优势品牌

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