池田屋日本进口 IKC入江工研 真空柔性管 VFP 2070
池田屋日本进口 IKC入江工研 真空柔性管 VFP 2070池田屋日本进口 IKC入江工研 真空柔性管 VFP 2070在 CF70 口径的超高真空管路中，若存在振动或需长期稳定运行，日本 IKC（入江工研）的 VFP 2070 提供了加厚强化方案。该型号在 VF 2070 基础上增加了管壁厚度，抗疲劳性能更优，同时保留了 CF 法兰的金属刀口密封结构，He 泄漏量不超过 1×10⁻⁹ Pa·m³
池田屋日本进口 IKC入江工研 真空柔性管 VFP 2070
池田屋日本进口 IKC入江工研 真空柔性管 VFP 2070
在 CF70 口径的超高真空管路中，若存在振动或需长期稳定运行，日本 IKC（入江工研）的 VFP 2070 提供了加厚强化方案。该型号在 VF 2070 基础上增加了管壁厚度，抗疲劳性能更优，同时保留了 CF 法兰的金属刀口密封结构，He 泄漏量不超过 1×10⁻⁹ Pa·m³/s。两端 CF70 法兰，一端固定一端旋转，内径约 41mm，外径约 50.5mm，法兰外径 69.3mm。材质为不锈钢，支持 250℃ 烘烤除气。
结构与选型要点
VFP 加强款适用于分子泵机组、电子显微镜设备及半导体超高真空工艺腔体的柔性连接，在存在周期性振动或热循环的工位中，疲劳寿命优势较为明显。安装时需确保 CF 法兰的铜垫圈密封面清洁，螺栓按规范扭矩锁紧，同时支架应承担管路自重，避免波纹管承受轴向拉力。加厚壁厚使管路的整体刚度略有增加，弯曲所需力矩相应增大，安装时需预留更长的柔性段以实现位移补偿。该型号的 CF70 接口在分子泵入口与大型腔体之间属于常见规格，选型时需核算通径是否满足流导要求。对于需要频繁烘烤的工艺段，不锈钢材质与金属密封结构可适应高温除气，但铜垫圈需按烘烤温度选择合适规格。
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优势品牌
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