进口日本Malema KL系列高纯度系统压力传感器 KL91 1/4 寸 0~50psig
进口日本Malema KL系列高纯度系统压力传感器 KL91 1/4 寸 0~50psig进口日本Malema KL系列高纯度系统压力传感器 KL91 1/4 寸 0~50psigKL91 为管线式压力传感器,采用一体式直装结构,1/4 英寸管路规格,测量范围 0~50psig,最大承压 120psig。传感部件采用 PFA 与 PTFE 构成接液结构,氧化铝传感器表面带有 PTFE 涂层,整体结
进口日本Malema KL系列高纯度系统压力传感器 KL91 1/4 寸 0~50psig进口日本Malema KL系列高纯度系统压力传感器 KL91 1/4 寸 0~50psigKL91 为管线式压力传感器,采用一体式直装结构,1/4 英寸管路规格,测量范围 0~50psig,最大承压 120psig。传感部件采用 PFA 与 PTFE 构成接液结构,氧化铝传感器表面带有 PTFE 涂层,整体结
进口日本Malema KL系列高纯度系统压力传感器 KL91 1/4 寸 0~50psig
进口日本Malema KL系列高纯度系统压力传感器 KL91 1/4 寸 0~50psig
KL91 为管线式压力传感器,采用一体式直装结构,1/4 英寸管路规格,测量范围 0~50psig,最大承压 120psig。传感部件采用 PFA 与 PTFE 构成接液结构,氧化铝传感器表面带有 PTFE 涂层,整体结构不含 O 型圈,规避密封圈带来的介质析出风险,适配高纯流体工况。
设备工作温湿度区间为相对湿度 25~89%,传感器内部不能出现冷凝水。端部配件支持多种形式,喇叭形、柱式、20S 型或者管状接头,可匹配不同管路接口方案,含 Flaretek、Tube、Pillar Super300 接头可选。
输出方案可选多种规格,包含 24VDC 供电 0-10VDC、24VDC 供电 4-20mA、12~24VDC 供电 1-5VDC、0-5VDC 信号,适配工控系统不同采集模块。
应用场景覆盖高纯去离子水、CMP 浆液管路,可对过滤组件状态持续监测,也用于流体管路常规压力采集。设备为管线安装结构,可直接串联在工艺管路中,减少转接配件,降低管路死体积。
选型时可根据管路类型选择接头款式,Pillar Super300 分为公头、母头版本,配套对应套筒与螺母。安装尺寸固定,可集成在流体供给柜内部。传感器适用于半导体湿法、抛光工艺回路,实时采集管路压力,辅助判断滤芯堵塞状态,支撑制程参数记录。
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