神津精机 MVRA16A-WH01 真空兼容型自动旋转平台
神津精机 MVRA16A-WH01 真空兼容型自动旋转平台神津精机 MVRA16A-WH01 真空兼容型自动旋转平台产品概述：MVRA16A-WH01是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型自动旋转平台，采用蜗轮蜗杆传动系统和精密角接触轴承，专为真空环境下的高精度旋转定位需求而设计。该平台适用于半导体制造、真空镀膜、同步辐射等需要在真空环境中进行精密角度定位的应用场景。核心
神津精机 MVRA16A-WH01 真空兼容型自动旋转平台
神津精机 MVRA16A-WH01 真空兼容型自动旋转平台
产品概述：
MVRA16A-WH01是神津精机（Kohzu Precision）推出的一款真空兼容型自动旋转平台，采用蜗轮蜗杆传动系统和精密角接触轴承，专为真空环境下的高精度旋转定位需求而设计。该平台适用于半导体制造、真空镀膜、同步辐射等需要在真空环境中进行精密角度定位的应用场景。
核心规格参数：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | MVRA16A-WH01 |
| 工作台面 | Φ158mm |
| 导轨方式 | 角接触轴承 |
| 可调范围 | ±170° |
| 旋转范围 | ±170° |
| 进给方式 | 蜗杆+蜗轮 1/180 |
| 分辨率（整步/半步） | 0.004° / 0.002° |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.0002° |
| 最高速度 | 10°/s |
| 累积误差 | ≤0.01°/360° |
| 反向间隙 | ≤0.008° |
| 角度重复性 | ≤0.01° |
| 俯仰误差 | ≤0.004°/2° |
| 回差 | ≤0.004° |
| 弯曲刚度 | 0.03 arcsec/N·cm |
| 水平承载能力 | 588N（60kgf） |
| 端面跳动 | ≤20μm/360° |
| 偏心度 | ≤10μm/360° |
| 主体材质 | 铝合金 |
| 重量 | 5.6kg |
电气规格：
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机类型 | 真空兼容型5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步距角 | 0.72° |
| 连接器 | 真空兼容D-sub 9针（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
核心设计特征：
一、真空兼容设计
采用真空兼容型5相步进电机
使用真空兼容D-sub 9针连接器（Accu-Glass Products）
适用于高真空环境下的精密旋转定位
二、高精度蜗轮蜗杆传动
蜗轮蜗杆减速比1/180
最小分辨率0.0002°（微步进1/20格）
角度重复性≤0.01°
累积误差≤0.01°/360°
三、精密角接触轴承
采用精密角接触轴承，确保旋转运动平稳性
端面跳动≤20μm/360°
偏心度≤10μm/360°
四、高刚性设计
弯曲刚度0.03 arcsec/N·cm
水平承载能力588N（60kgf）
MVRA16A-WH01与同系列平台对比：
| 项目 | MVRA16A-WH01 |
|---|---|
| 台面直径 | Φ158mm |
| 旋转范围 | ±170° |
| 减速比 | 1/180 |
| 最小分辨率 | 0.0002° |
| 水平承载 | 588N（60kgf） |
| 重量 | 5.6kg |
选型要点：
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 控制器 | 请确认兼容的电机控制器 |
| 驱动器 | 请确认兼容的电机驱动器 |
| 电缆 | 请确认兼容的电机电缆 |
| 配件 | 垫片等配件请确认兼容性 |
典型应用场景：
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 真空镀膜设备 | 镀膜过程中基板的旋转定位 |
| 半导体制造 | 真空环境下的晶圆角度定位 |
| 同步辐射 | 真空光路中的角度调整 |
| 表面分析 | XPS/AES等真空分析仪器的样品台旋转 |
| 光学实验 | 真空环境中的光学元件角度定位 |
综合价值：
神津精机MVRA16A-WH01真空兼容型自动旋转平台通过蜗轮蜗杆高精度传动（最小分辨率0.0002°）、真空兼容型5相步进电机、精密角接触轴承（重复精度≤0.01°）及高刚性设计（承载588N），为真空环境下的精密旋转定位提供了高可靠性、高精度的解决方案，适用于真空镀膜、半导体制造、同步辐射等需要在真空环境中进行精密角度定位的应用场景。
