原厂原装Malema CMFC-5000系列科里奥利质量流量控制器

CMFC-5031-F204-11NH依托科里奥利测量原理，可直接精准测量介质质量流量，无需温压补偿，有效规避流体物性变化带来的测量偏差，适配各类高纯液态介质。设备搭配专用隔膜控制阀，专为清澈无颗粒化学药液设计，阀体内腔无冗余死角，可维持管路流体洁净度，契合半导体高端制程的洁净要求。

设备控制精度可达设定值的±1.5%，控制重复性稳定在设定值±0.5%，保障微量流体配比、输送工序的参数一致性。设备响应速度优异，常规工况下调节时长低于1秒，大幅缩减流量调节滞后性，适配高频次精准控流工序。整体接液部件采用PFA、PTFE高纯材质，无运动密封结构，不会析出离子与颗粒，适配去离子水、各类高纯化学试剂的制程监测与控制。设备支持4-20mA信号输入输出，可无缝对接工业自控系统，支持远程设定流量参数与实时数据回传。

工作温度适配18-50℃制程流体，环境温湿度适配车间常规工况，最大工作压力50psig，安全承压冗余充足。整体结构紧凑，支持水平垂直多向安装，适配半导体湿法清洗、镀铜工艺等微量化学药液精准输送与配比场景，为精细化流体制程提供稳定可靠的控流保障。